إن عملية الطلاء الأيوني لمصدر القوس الكاثودي هي في الأساس نفس تقنيات الطلاء الأخرى ، ولم تعد بعض العمليات مثل تركيب قطع العمل والفراغ تتكرر.
1. تنظيف القصف لقطع العمل
قبل الطلاء ، يتم إدخال غاز الأرجون إلى حجرة الطلاء بفراغ 2 × 10-2Pa.
قم بتشغيل مصدر طاقة التحيز النبضي ، مع دورة عمل بنسبة 20٪ وانحياز قطعة الشغل من 800-1000 فولت.
عندما يتم تشغيل طاقة القوس ، يتم إنشاء تفريغ ضوء قوسي بارد ، والذي ينبعث كمية كبيرة من تيار الإلكترون وتيار أيون التيتانيوم من مصدر القوس ، مما يشكل بلازما عالية الكثافة.يعمل أيون التيتانيوم على تسريع حقنه في قطعة العمل تحت ضغط التحيز السلبي المرتفع المطبق على قطعة العمل ، ويقذف ويتبخر الغاز المتبقي والملوثات الممتصة على سطح قطعة العمل ، وتنظيف وتنقية سطح قطعة العمل ؛في الوقت نفسه ، يتأين غاز الكلور الموجود في حجرة الطلاء بواسطة الإلكترونات ، وتسرع أيونات الأرجون قصف سطح قطعة العمل.
لذلك ، فإن تأثير التنظيف بالقصف جيد.يمكن تنظيف قطعة العمل بحوالي دقيقة واحدة فقط من التنظيف بالقصف ، وهو ما يسمى "القصف القوسي الرئيسي".نظرًا للكتلة العالية لأيونات التيتانيوم ، إذا تم استخدام مصدر قوس صغير لقصف وتنظيف قطعة العمل لفترة طويلة جدًا ، تكون درجة حرارة قطعة العمل عرضة للسخونة الزائدة ، وقد تصبح حافة الأداة ناعمة.في الإنتاج العام ، يتم تشغيل مصادر القوس الصغيرة واحدًا تلو الآخر من أعلى إلى أسفل ، ولكل مصدر قوس صغير وقت تنظيف بالقصف يبلغ حوالي دقيقة واحدة.
（1 ، طلاء الطبقة السفلية من التيتانيوم
من أجل تحسين الالتصاق بين الفيلم والركيزة ، عادة ما يتم طلاء طبقة من ركيزة التيتانيوم النقي قبل طلاء نيتريد التيتانيوم.اضبط مستوى الفراغ إلى 5 × 10-2-3 × 10-1Pa ، واضبط جهد تحيز قطعة العمل إلى 400-500 فولت ، واضبط دورة عمل مصدر طاقة التحيز النبضي إلى 40٪ ~ 50٪.لا يزال يتم إشعال مصادر القوس الصغيرة واحدًا تلو الآخر لتوليد تفريغ قوسي بارد للحقل.نظرًا لانخفاض جهد التحيز السلبي لقطعة الشغل ، تنخفض طاقة أيونات التيتانيوم.بعد الوصول إلى قطعة العمل ، يكون تأثير الاخرق أقل من تأثير الترسيب ، ويتم تشكيل طبقة انتقالية من التيتانيوم على قطعة العمل لتحسين قوة الترابط بين طبقة فيلم نيتريد التيتانيوم الصلبة والركيزة.هذه العملية هي أيضًا عملية تسخين قطعة العمل.عندما يتم تفريغ هدف التيتانيوم النقي ، يكون الضوء في البلازما أزرق سماوي.
1.مطلية عاء الصلب طلاء الفيلم
اضبط درجة الفراغ على 3 × 10-1-5Pa ، اضبط جهد تحيز قطعة العمل إلى 100-200 فولت ، واضبط دورة عمل مصدر طاقة التحيز النبضي إلى 70٪ ~ 80٪.بعد إدخال النيتروجين ، يكون التيتانيوم عبارة عن تفاعل مركب مع بلازما تفريغ القوس لترسيب فيلم صلب من نيتريد التيتانيوم.في هذه المرحلة ، يكون ضوء البلازما في غرفة التفريغ أحمر كرز.إذا كان ج2H2يا2، وما إلى ذلك ، TiCN ، TiO2، وما إلى ذلك يمكن الحصول على طبقات الفيلم.
- صدر هذا المقال من قبل Guangdong Zhenhua ، أالشركة المصنعة لآلة طلاء الفراغ
الوقت ما بعد: يونيو 01-2023