الطلاء الأيوني بالفراغ (الطلاء الأيوني باختصار) هو تقنية جديدة لمعالجة الأسطح تم تطويرها بسرعة في السبعينيات ، والتي تم اقتراحها من قبل DM Mattox من شركة Somdia في الولايات المتحدة في عام 1963. وهي تشير إلى عملية استخدام مصدر التبخر أو الرش الهدف لتبخر أو رش مادة الفيلم في جو الفراغ.
الأول هو توليد بخار معدني عن طريق تسخين وتبخير مادة الفيلم ، والتي تتأين جزئيًا إلى بخار معدني وذرات محايدة عالية الطاقة في مساحة بلازما تفريغ الغاز ، وتصل إلى الركيزة لتشكيل فيلم من خلال عمل المجال الكهربائي ؛يستخدم الأخير أيونات عالية الطاقة (على سبيل المثال ، Ar +) تقصف سطح مادة الفيلم بحيث تتأين الجسيمات المتطايرة إلى أيونات أو ذرات محايدة عالية الطاقة من خلال مساحة تفريغ الغاز ، وتحقق سطح الركيزة لتشكيل فيلم.
تم نشر هذا المقال بواسطة Guangdong Zhenhua ، الشركة المصنعة لـمعدات طلاء الفراغ
الوقت ما بعد: مارس -10-2023