ما هي عمليات آلة الطلاء بالفراغ؟ما هو مبدأ العمل؟

الطلاء الفراغتنقسم عملية الآلة إلى: طلاء بالتبخير بالفراغ وطلاء بالرش بالتفريغ وطلاء أيوني مفرغ.

1 ، طلاء التبخر الفراغي

في حالة الفراغ ، اجعل المادة تبخر ， مثل المعدن ، سبيكة معدنية ، إلخ ، ثم قم بإيداعها على سطح الركيزة ، غالبًا ما تستخدم طريقة طلاء التبخر تسخين المقاومة ، ثم قصف شعاع الإلكترون لمواد الطلاء ، وجعلها يتبخر في الطور الغازي ، ثم يودع على سطح الركيزة ، تاريخياً ، يعتبر ترسيب البخار الفراغي هو التقنية السابقة المستخدمة في طريقة PVD.

2 ، طلاء الاخرق

يتعرض الغاز لتفريغ توهج تحت ظروف فراغ مملوءة (Ar) ، وفي هذه اللحظة تتحول ذرات الأرجون (Ar) إلى أيونات نيتروجين (Ar) ، وتتسارع الأيونات بقوة المجال الكهربائي ， وتقصف هدف الكاثود الذي مصنوعة من مادة الطلاء ، سيتم رش الهدف وترسبه على سطح الركيزة أيونات الحوادث في طلاء الرش ، التي يتم الحصول عليها عمومًا عن طريق تفريغ الوهج ، في نطاق 10-2pa إلى 10Pa لذلك من السهل تصادم الجسيمات المتناثرة مع جزيئات الغاز في غرفة التفريغ عند الطيران نحو الركيزة ، مما يجعل اتجاه الحركة عشوائيًا والفيلم المودع سهلًا ليكون موحدًا.

3 ، طلاء أيون

في ظل ظروف الفراغ ، تم استخدام تقنية معينة لتأين البلازما لتأيين ذرات مادة الطلاء جزئيًا إلى أيونات ، وفي نفس الوقت يتم إنتاج العديد من الذرات المحايدة عالية الطاقة والتي تكون منحازة سلبًا على الركيزة. على سطح الركيزة تحت تحيز سلبي عميق لتشكيل فيلم رقيق.