تعتمد تفاعلات الأمراض القلبية الوعائية عمومًا على درجات حرارة عالية ، ومن ثم يُطلق عليها ترسيب البخار الكيميائي المثار حرارياً (TCVD).يستخدم بشكل عام السلائف غير العضوية ويتم إجراؤه في مفاعلات الجدار الساخن والجدار البارد.تشمل طرق التسخين الخاصة به تسخين التردد اللاسلكي (RF) ، تسخين الأشعة تحت الحمراء ، تسخين المقاومة ، إلخ.
ترسيب البخار الكيميائي للجدار الساخن
في الواقع ، مفاعل ترسيب البخار الكيميائي ذو الجدار الساخن عبارة عن فرن ترموستاتي ، عادة ما يتم تسخينه بعناصر مقاومة ، للإنتاج المتقطع.يظهر الرسم لمرفق إنتاج ترسيب البخار الكيميائي للجدار الساخن لطلاء أداة الرقائق على النحو التالي.يمكن أن يغطي ترسيب البخار الكيميائي للجدار الساخن هذا TiN و TiC و TiCN والأغشية الرقيقة الأخرى.يمكن تصميم المفاعل ليكون كبيرًا بدرجة كافية ثم يحتوي على عدد كبير من المكونات ، ويمكن التحكم في الظروف بدقة شديدة من أجل الترسيب.تُظهر الصورة 1 جهاز طبقة فوق محورية لتنشيط السيليكون لإنتاج جهاز أشباه الموصلات.يتم وضع الركيزة في الفرن في اتجاه رأسي لتقليل تلوث سطح الترسيب بالجزيئات ، وزيادة تحميل الإنتاج بشكل كبير.عادة ما يتم تشغيل مفاعلات الجدار الساخن لإنتاج أشباه الموصلات عند ضغوط منخفضة.
الوقت ما بعد: نوفمبر 08-2022