HFCVD0606

Kimyəvi buxar çökdürmə avadanlığının vakuum örtük kamerası, soyutmada səmərəli və vahid olan və təhlükəsiz və sabit bir quruluşa malik müstəqil iki qatlı su soyutma quruluşunu qəbul edir.Avadanlıq ikiqat qapılar, çoxsaylı müşahidə pəncərələri və infraqırmızı temperaturun ölçülməsi, spektral analiz, video monitorinq və termocüt kimi köməkçi periferik cihazların xarici qoşulması üçün əlverişli olan çoxsaylı genişləndirmə interfeysləri ilə dizayn edilmişdir.Qabaqcıl dizayn konsepsiyası gündəlik əsaslı təmir və texniki qulluq, konfiqurasiya dəyişikliyi və avadanlığın təkmilləşdirilməsini asan və sadə edir və istifadə və təkmilləşdirmə xərclərini effektiv şəkildə azaldır.

Avadanlıq xüsusiyyətləri:

1. Avadanlığın inflyasiya komponentlərinə əsasən, proses qaz axınına dəqiq nəzarəti, müxtəlif qazların vahid qarışdırılmasını və təhlükəsiz izolyasiyasını təmin edən kütlə axını ölçən, elektromaqnit klapan və qaz qarışdırma çəni daxildir və istifadə üçün qaz sistemi komponentlərini seçə bilər. maye qaz mənbəyi, maye karbon mənbələrinin geniş çeşidinin fərdiləşdirilmiş seçimini və sintetik keçirici almaz və elektrod maye bor mənbələrinin təhlükəsiz istifadəsini asanlaşdırır.
2.Hava çıxarma qurğusu səssiz və səmərəli fırlanan qanadlı vakuum nasosu və yüksək vakuum fon mühitinə tez cavab verə bilən turbo molekulyar nasos sistemi ilə təchiz edilmişdir.Müqavimət ölçmə cihazı və ionlaşma ölçmə cihazı ilə kompozit vakuumölçən, vakuumun ölçülməsi üçün, həmçinin müxtəlif proses qazlarının təzyiqini geniş diapazonda ölçə bilən kapasitiv film ölçmə sistemi üçün istifadə olunur.Çökmə təzyiqi yüksək dəqiqlikli mütənasib idarəetmə klapan tərəfindən tam avtomatik idarə olunur.
3.Soyutma suyu komponenti çox kanallı su təzyiqi, axın, temperaturun ölçülməsi və avtomatik monitorinq proqram təminatı ilə təchiz edilmişdir.Müxtəlif soyutma komponentləri bir-birindən müstəqildir, bu da nasazlığın tez diaqnozu üçün əlverişlidir.Bütün filiallarda təhlükəsiz və səmərəli olan müstəqil klapan açarları var.
4. Elektrik idarəetmə komponentləri böyük ölçülü insan-maşın interfeysi LCD ekranını qəbul edir və proses formulunun redaktəsini və idxalını asanlaşdırmaq üçün PLC tam avtomatik idarəetmə ilə əməkdaşlıq edir.Qrafik əyri müxtəlif parametrlərin dəyişikliklərini və dəyərlərini əyani şəkildə göstərir və problemlərin axtarışını və məlumatların statistik təhlilini asanlaşdırmaq üçün avadanlıq və proses parametrləri avtomatik qeydə alınır və arxivləşdirilir.
5. İş parçasının rafı, substrat masasının qaldırılmasını və endirilməsini idarə etmək üçün servo motorla təchiz edilmişdir.Qrafit və ya qırmızı mis substrat masası seçilə bilər.Temperatur bir termocütlə ölçülür.
6. Raf komponentləri müştərilərin xüsusi rəftar tələblərinə cavab vermək üçün müştəri tələblərinə uyğun olaraq bütövlükdə və ya ayrıca dizayn edilə bilər.
7. Sızdırmazlıq boşqabının komponentləri gözəl və zərifdir.Avadanlığın müxtəlif funksional modul sahələrindəki sızdırmazlıq lövhələri tez sökülə və ya müstəqil olaraq açıla və bağlana bilər ki, bu da istifadə üçün çox rahatdır.

Qaynar filamentli CVD avadanlığı almaz materialların, o cümlədən nazik təbəqə örtüyü, özünüdaşıyan qalın film, mikrokristal və nanokristal almaz, keçirici almaz və s. yerləşdirmək üçün uyğundur. Əsasən sementlənmiş karbid kəsici alətlərin, yarımkeçirici materialların aşınmaya davamlı qoruyucu örtüyü üçün istifadə olunur. silisium və silisium karbid, cihazların istilik yayılması örtüyü, bor qatqılı keçirici almaz elektrod, elektrolitik suyun ozonla dezinfeksiyası və ya kanalizasiya sularının təmizlənməsi kimi.