Avadanlıq maqnetron püskürtmə və müqavimətli buxarlanma texnologiyasını birləşdirir və müxtəlif substratların örtülməsi üçün həll yolu təqdim edir.
Eksperimental örtük avadanlığı əsasən universitetlərdə və elmi tədqiqat müəssisələrində istifadə olunur və müxtəlif eksperimental tələblərə cavab verə bilər.Müxtəlif sahələrdə elmi tədqiqat və inkişafa cavab vermək üçün çevik şəkildə konfiqurasiya edilə bilən avadanlıq üçün müxtəlif struktur hədəflər qorunur.Maqnetron püskürtmə sistemi, katod qövs sistemi, elektron şüa buxarlanma sistemi, müqavimət buxarlanma sistemi, CVD, PECVD, ion mənbəyi, əyilmə sistemi, istilik sistemi, üç ölçülü armatur və s. seçilə bilər.Müştərilər müxtəlif ehtiyaclarına uyğun seçim edə bilərlər.
Avadanlıq gözəl görünüş, yığcam quruluş, kiçik mərtəbə sahəsi, yüksək avtomatlaşdırma, sadə və çevik əməliyyat, sabit performans və asan təmir xüsusiyyətlərinə malikdir.
Avadanlıq plastik, paslanmayan polad, elektrolizlənmiş avadanlıq/plastik hissələr, şüşə, keramika və digər materiallara tətbiq oluna bilər.Titan, xrom, gümüş, mis, alüminium və ya TiN / TiCN / TiC / TiO2 / TiAlN / CrN / ZrN / CrC kimi metal birləşmə filmləri kimi sadə metal təbəqələr hazırlana bilər.
ZCL0506 | ZCL0608 | ZCL0810 |
φ500*H600(mm) | φ600*H800(mm) | φ800*H1000(mm) |