1. Qövs işığı elektron axınının xüsusiyyətləri
Qövs boşalması nəticəsində yaranan qövs plazmasında elektron axınının, ion axınının və yüksək enerjili neytral atomların sıxlığı parıltı boşalmasından xeyli yüksəkdir.Örtmə məkanında daha çox qaz ionları və metal ionları ionlaşmış, həyəcanlanmış yüksək enerjili atomlar və müxtəlif aktiv qruplar mövcuddur ki, bu da örtük prosesinin qızdırılması, təmizlənməsi və örtülməsi mərhələlərində mühüm rol oynayır.Qövs elektron axınının hərəkət forması ion şüasınınkından fərqlidir, onların hamısı “şüa”ya birləşmir, lakin əsasən divergent vəziyyətdədir, ona görə də qövs elektron axını adlanır.Qövs elektronları anoda doğru axdığından qövs elektron axını qövs enerji təchizatının müsbət elektrodunun qoşulduğu yerə yönəldilir və anod iş parçası, köməkçi anod, tigel və s. ola bilər.
2. Qövs elektron axınının yaradılması üsulu
(1) Qaz mənbəyi qövs elektron axını yaradır: içi boş katod qövs boşalmasının və isti tel qövs boşalmasının qövs cərəyanı təxminən 200A-a çata bilər və qövs gərginliyi 50-70V-dir.
(2) Bərk mənbə qövs elektron axını yaradır: katod qövs mənbəyi, o cümlədən kiçik qövs mənbəyi, silindrik qövs mənbəyi, düzbucaqlı müstəvi böyük qövs mənbəyi və s. Hər bir katod qövs mənbəyinin boşaldılmasının qövs cərəyanı 80-200A, qövs gərginliyi isə 18-25V.
İki növ qövs boşalma plazmasında yüksək sıxlıqlı və aşağı enerjili qövs elektron axını qaz və metal film atomları ilə intensiv toqquşma ionlaşması yarada bilər, daha çox qaz ionları, metal ionları və müxtəlif yüksək enerjili aktiv atomlar və qruplar əldə edir və bununla da film təbəqəsi ionlarının ümumi fəaliyyəti.
-Bu məqalə Guangdong Zhenhua tərəfindən yayımlandı, avakuum örtük maşın istehsalçısı
Göndərmə vaxtı: 31 may 2023-cü il