① Film qalınlığının yaxşı idarə oluna bilməsi və təkrarlanması
Film qalınlığının əvvəlcədən müəyyən edilmiş bir dəyərdə idarə oluna biləcəyinə film qalınlığının idarəolunması deyilir.Lazım olan plyonka qalınlığı dəfələrlə təkrarlana bilər ki, bu da film qalınlığının təkrarlanabilirliyi adlanır. Çünki vakuum püskürtmə örtüyünün axıdılması cərəyanı və hədəf cərəyanı ayrıca idarə oluna bilər.Buna görə də, püskürən filmin qalınlığı idarə edilə bilər və əvvəlcədən müəyyən edilmiş qalınlığa malik film etibarlı şəkildə yerləşdirilə bilər.Bundan əlavə, püskürtmə örtüyü böyük bir səthdə vahid qalınlığa malik bir film əldə edə bilər.
② Film və substrat arasında güclü yapışma
Püskürən atomların enerjisi buxarlanmış atomların enerjisindən 1-2 dəfə yüksəkdir.Substratda çökdürülmüş yüksək enerjili püskürən atomların enerjiyə çevrilməsi buxarlanmış atomlardan xeyli yüksəkdir ki, bu da daha yüksək istilik yaradır və püskürən atomlarla substrat arasında yapışmanı artırır.Bundan əlavə, bəzi yüksək enerjili püskürən atomlar, substratda psevdodiffuziya təbəqəsi meydana gətirərək müxtəlif dərəcələrdə inyeksiya yaradırlar.Bundan əlavə, plyonka əmələ gətirmə prosesi zamanı substrat həmişə təmizlənir və plazma bölgəsində aktivləşdirilir ki, bu da zəif yapışma ilə püskürən atomları çıxarır və substratın səthini təmizləyir və aktivləşdirir.Buna görə də, püskürən film substrata güclü yapışma qabiliyyətinə malikdir.
③ Hədəfdən fərqli yeni material filmi hazırlana bilər
Hədəflə reaksiya vermək üçün püskürtmə zamanı reaktiv qaz daxil edilərsə, hədəfdən tamamilə fərqli yeni material filmi əldə edilə bilər.Məsələn, silisium püskürtmə hədəfi kimi istifadə olunur və oksigen və arqon birlikdə vakuum kamerasına yerləşdirilir.Püskürtmədən sonra SiOz izolyasiya filmi əldə edilə bilər.Püskürtmə hədəfi kimi titandan istifadə edərək, azot və arqon birlikdə vakuum kamerasına qoyulur və sıçrayışdan sonra faza TiN qızılı filmi əldə etmək olar.
④ Yüksək təmizlik və yaxşı film keyfiyyəti
Püskürtmə plyonkasını hazırlama qurğusunda tige komponenti olmadığından, çiləyici film təbəqəsində tigel qızdırıcısı materialının komponentləri qarışdırılmayacaq.Püskürtmə örtüyünün dezavantajları, film əmələ gətirmə sürətinin buxarlanma örtüyünə nisbətən daha yavaş olması, substratın temperaturunun daha yüksək olması, çirkli qazın təsirinə məruz qalmasının asan olması və cihazın strukturunun daha mürəkkəb olmasıdır.
Bu məqalə istehsalçısı Guangdong Zhenhua tərəfindən dərc edilmişdirvakuum örtük avadanlığı
Göndərmə vaxtı: 09 mart 2023-cü il