1. İş parçasının əyriliyi azdır
İonlaşma dərəcəsini artırmaq üçün bir cihazın əlavə edilməsi sayəsində boşalma cərəyanının sıxlığı artır və əyilmə gərginliyi 0,5 ~ 1kV-ə qədər azalır.
Yüksək enerjili ionların həddindən artıq bombardmanı nəticəsində yaranan arxa püskürmə və iş parçasının səthinə zərər təsiri azalır.
2. Plazma sıxlığının artması
Toqquşma ionlaşmasını təşviq etmək üçün müxtəlif tədbirlər əlavə edildi və metalın ionlaşma dərəcəsi 3% -dən 15% -dən çox artdı.Kaplama kamerasında çənə ionlarının və yüksək enerjili neytral atomların, azot ionlarının, yüksək enerjili aktiv atomların və aktiv qrupların sıxlığı artır ki, bu da birləşmələrin əmələ gəlməsi reaksiyasına şərait yaradır.Yuxarıdakı müxtəlif təkmil parıldayan boşalma ion örtük texnologiyaları daha yüksək plazma sıxlıqlarında reaksiya çökmə yolu ilə TN sərt film təbəqələrini əldə edə bilmişdir, lakin onlar parıltı axıdılması növünə aid olduqları üçün boşalma cərəyanının sıxlığı kifayət qədər yüksək deyil (hələ mA/sm2 səviyyəsi). ) və ümumi plazma sıxlığı kifayət qədər yüksək deyil və reaksiya çökmə birləşməsinin örtülməsi prosesi çətindir.
3. Nöqtəli buxarlanma mənbəyinin örtük diapazonu kiçikdir
Müxtəlif təkmil ion örtük texnologiyaları elektron şüa buxarlanma mənbələrindən və reaksiya çöküntüsü üçün gantu-dan yuxarı müəyyən bir intervalla məhdudlaşan nöqtə buxarlanma mənbəyi kimi gantu istifadə edir, buna görə məhsuldarlıq aşağıdır, proses çətindir və sənayeləşdirilməsi çətindir.
4. Elektron silahın yüksək təzyiqlə işləməsi
Elektron silahın gərginliyi 6~30kV, iş parçasının əyilmə gərginliyi isə 0,5~3kV-dir ki, bu da yüksək gərginlikli əməliyyata aiddir və müəyyən təhlükəsizlik təhlükələrinə malikdir.
——Bu məqalə Guangdong Zhenhua Technology, aoptik örtük maşınlarının istehsalçısı.
Göndərmə vaxtı: 12 may 2023-cü il