Buxarlanma ilə örtülmə zamanı film təbəqəsinin nüvələşməsi və böyüməsi müxtəlif ion örtük texnologiyasının əsasını təşkil edir.
1.Nüvələşmə
Invakuum buxarlanma örtük texnologiyası,film təbəqəsi hissəcikləri buxarlanma mənbəyindən atomlar şəklində buxarlandıqdan sonra yüksək vakuumda birbaşa iş parçasına uçur və iş parçasının səthində nüvələşmə və böyümə yolu ilə plyonka təbəqəsini əmələ gətirir.Vakuum buxarlanma zamanı buxarlanma mənbəyindən çıxan film təbəqəsi atomlarının enerjisi təxminən 0,2eV təşkil edir.Film təbəqəsinin hissəcikləri arasındakı birləşmə, film təbəqəsinin atomları ilə iş parçası arasındakı birləşmə qüvvəsindən çox olduqda, bir ada nüvəsi meydana gətirir.Bir film təbəqəsi atomu qeyri-müntəzəm hərəkət, diffuziya, miqrasiya və ya digər atomlarla toqquşaraq atom klasterləri yaratmaq üçün iş parçasının səthində bir müddət qalır. nüvə əmələ gəlir, buna homojen formalı nüvə deyilir.
hamardır və çoxlu qüsurlar və addımlar ehtiva edir ki, bu da iş parçasının müxtəlif hissələrinin radioaktiv atomlara adsorbsiya qüvvəsinin fərqinə səbəb olur.Qüsurun səthinin adsorbsiya enerjisi normal səthinkindən böyükdür, ona görə də o, heterogen nüvələşmə adlanan üstünlüklü nüvələşmə üçün əlverişli olan aktiv mərkəzə çevrilir.Birləşmə qüvvəsi bağlama qüvvəsinə bərabər olduqda və ya membran atomları ilə iş parçası arasındakı bağlama qüvvəsi membran atomları arasındakı birləşmə qüvvəsindən böyük olduqda, lamel quruluş əmələ gəlir.İon örtük texnologiyasında əksər hallarda ada nüvəsi əmələ gəlir.
2. Artım
Filmin nüvəsi əmələ gəldikdən sonra, hadisə atomlarını tutaraq böyüməyə davam edir. Adalar böyüyür və bir-biri ilə birləşərək daha böyük yarımkürələr əmələ gətirir, tədricən iş parçasının səthinə yayılan yarımkürəvi ada təbəqəsi əmələ gətirir.
Film təbəqəsinin atom enerjisi yüksək olduqda, səthə kifayət qədər yayıla bilər və sonrakı gələn atom klasterləri kiçik olduqda hamar davamlı plyonka əmələ gələ bilər. Səthdə atomların diffuziyası zəif olduqda və ölçüsü çökdürülmüş çoxluqlar böyükdür, onlar iri yarımada nüvələri kimi mövcuddurlar. Adanın nüvəsinin yuxarı hissəsi konkav hissəyə güclü kölgə salır, yəni “kölgə effekti”dir. Səthin proyeksiyası sonrakı çökdürülmüş atomları tutmaq üçün daha əlverişlidir. və üstünlüklü böyümə, kifayət qədər ölçülü konusvari və ya sütunlu kristallar yaratmaq üçün səthdə artan konkavlik dərəcəsi ilə nəticələnir.Konusvari kristallar arasında nüfuz edən boşluqlar əmələ gəlir və səthi pürüzlülük dəyəri artır. Yüksək vakuumda incə toxuma əldə etmək olar, vakuum dərəcəsinin azalması ilə membranın mikro strukturu qalınlaşır və qalınlaşır.
Göndərmə vaxtı: 24 may 2023-cü il