Katodik qövs mənbəyinin ion örtüyü prosesi əsasən digər örtük texnologiyaları ilə eynidir və iş parçalarının quraşdırılması və tozsoran kimi bəzi əməliyyatlar artıq təkrarlanmır.
1.İş hissələrinin bombardmanla təmizlənməsi
Kaplamadan əvvəl arqon qazı 2×10-2Pa vakuumla örtük kamerasına daxil edilir.
20% iş dövrü və 800-1000V iş parçasının əyilməsi ilə impulslu enerji təchizatını yandırın.
Qövs enerjisi işə salındıqda, qövs mənbəyindən çoxlu miqdarda elektron cərəyanı və titan ion cərəyanı buraxaraq yüksək sıxlıqlı plazma əmələ gətirən soyuq sahə qövsü işıq boşalması yaranır.Titan ionu iş parçasına tətbiq olunan mənfi yüksək əyilmə təzyiqi altında iş parçasına vurulmasını sürətləndirir, iş parçasının səthinə adsorbsiya edilmiş qalıq qazı və çirkləndiriciləri bombalayır və püskürür, iş parçasının səthini təmizləyir və təmizləyir;Eyni zamanda, örtük kamerasındakı xlor qazı elektronlar tərəfindən ionlaşdırılır və arqon ionları iş parçasının səthinin bombardmanını sürətləndirir.
Buna görə də, bombardmanla təmizləmə effekti yaxşıdır.Yalnız təxminən 1 dəqiqəlik bombardmanla təmizləmə iş parçasını təmizləyə bilər, buna “əsas qövs bombardmanı” deyilir.Titan ionlarının yüksək kütləsi səbəbindən iş parçasını çox uzun müddət bombalamaq və təmizləmək üçün kiçik bir qövs mənbəyi istifadə edilərsə, iş parçasının temperaturu həddindən artıq istiləşməyə meyllidir və alətin kənarı yumşaq ola bilər.Ümumi istehsalda kiçik qövs mənbələri yuxarıdan aşağıya bir-bir işə salınır və hər bir kiçik qövs mənbəyinin təxminən 1 dəqiqəlik bombardman təmizləmə müddəti var.
（1） Titan alt qatının örtülməsi
Film və substrat arasında yapışmanı yaxşılaşdırmaq üçün, adətən titan nitridi örtməzdən əvvəl təmiz titan substrat təbəqəsi örtülür.Vakuum səviyyəsini 5 × 10-2-3 × 10-1Pa-a uyğunlaşdırın, iş parçasının əyilmə gərginliyini 400-500V-ə tənzimləyin və impuls meylinin enerji təchizatının iş dövrünü 40% ~ 50% -ə qədər tənzimləyin.Soyuq sahədə qövs boşalması yaratmaq üçün hələ də kiçik qövs mənbələrini bir-bir alovlandırır.İş parçasının mənfi əyilmə gərginliyinin azalması səbəbindən titan ionlarının enerjisi azalır.İş parçasına çatdıqdan sonra püskürtmə effekti çökmə təsirindən daha azdır və titan nitridin sərt film təbəqəsi ilə substrat arasında bağlanma qüvvəsini yaxşılaşdırmaq üçün iş parçasında titan keçid təbəqəsi əmələ gəlir.Bu proses həm də iş parçasının qızdırılması prosesidir.Təmiz titan hədəfi boşaldıqda, plazmadakı işıq göy mavi olur.
1.Ammonlanmış qabın sərt filmlə örtülməsi
Vakuum dərəcəsini 3×10-a tənzimləyin-1-5Pa, iş parçasının əyilmə gərginliyini 100-200V-ə tənzimləyin və impuls meylli enerji təchizatının iş dövrünü 70% ~ 80% -ə qədər tənzimləyin.Azot daxil edildikdən sonra titan titan nitridin sərt filmini çökdürmək üçün qövs boşalma plazması ilə birləşmə reaksiyasıdır.Bu zaman vakuum kamerasındakı plazmanın işığı albalı qırmızıdır.Əgər C2H2, O2və s. təqdim edilir, TiCN, TiO2və s. plyonka təbəqələri əldə etmək olar.
-Bu məqalə Guangdong Zhenhua tərəfindən yayımlandı, avakuum örtük maşın istehsalçısı
Göndərmə vaxtı: 01 iyun 2023-cü il