Müqavimətli buxarlanma mənbəyi örtüyü əsas vakuum buxarlanma örtük üsuludur.“Buxarlanma” vakuum kamerasındakı örtük materialının qızdırıldığı və buxarlandığı, beləliklə materialın atomları və ya molekullarının buxarlanaraq səthdən qaçaraq, buxar axını fenomeni meydana gətirən nazik təbəqənin hazırlanması üsuluna aiddir. substrat və ya substrat və nəhayət qatı bir film yaratmaq üçün qatılaşdırılır.
Müqavimətli buxarlanma mənbəyi örtük üsulu, buxarlanacaq materiallarla yüklənmiş, havanın keçməsinə imkan verən, birbaşa istilik və buxarlanmış materialları buxarlandırın və ya buxarlanacaq materialları dolayı qızdırmaq və buxarlanma üçün alüminium oksidinə, berilyum oksidinə və digər tigelərə qoyun.Bu müqavimətli istilik buxarlanma üsuludur.
Thevakuum buxarlanma örtük maşınımüqavimət qızdırıcısı ilə qızdırılan və buxarlanan sadə quruluş, aşağı qiymət və etibarlı istifadə üstünlüklərinə malikdir.Aşağı ərimə nöqtəsi olan materialların buxarlanma ilə örtülməsi üçün, xüsusən örtük keyfiyyətinə aşağı tələblər olan kütləvi istehsal üçün istifadə edilə bilər.Bu günə qədər, alüminium güzgülərin istehsalında istifadə edilən müqavimətli qızdırmanın və buxarlanmanın çox sayda örtük prosesləri hələ də mövcuddur.
Müqavimətli buxarlanma mənbəyinin buxarlanma ilə örtülməsi üsulunun dezavantajları istiliklə əldə edilə bilən maksimum temperaturun məhdud olması və qızdırıcının xidmət müddətinin də qısa olmasıdır.Son illərdə müqavimət buxarlanma mənbəyinin ömrünü yaxşılaşdırmaq üçün avadanlıq fabriki buxarlanma mənbəyi kimi uzun ömürlü bor nitridi ilə sintez edilmiş keçirici keramika materialını qəbul etmişdir.Yapon patent hesabatına görə, o, 20% ~ 30% bor nitridindən və onunla birləşdirilə bilən odadavamlı materiallardan istifadə edə bilər ki, bu da buxarlanma mənbəyini (pota) düzəldə bilər və səthini 62% sirkonium təbəqəsi ilə örtür. ~82%, qalanları isə sirkonium-silikon ərintisi materiallarıdır.
Göndərmə vaxtı: 22 aprel 2023-cü il