GX600

Абсталяванне мае вертыкальную структуру ўваходных дзвярэй і кластарную схему.Ён можа быць абсталяваны крыніцамі выпарэння металаў і розных арганічных матэрыялаў, а таксама можа выпарваць крэмніевыя пласціны розных спецыфікацый.Абсталяванае сістэмай дакладнага выраўноўвання, пакрыццё стабільнае і мае добрую паўтаральнасць.
Абсталяванне для нанясення пакрыцця GX600 можа дакладна, раўнамерна і кантралявана выпараць арганічныя святловыпрамяняльныя матэрыялы або металічныя матэрыялы на падкладку.Ён мае такія перавагі, як простае фарміраванне плёнкі, высокая чысціня і высокая кампактнасць.Поўнааўтаматычная сістэма маніторынгу таўшчыні плёнкі ў рэальным часе можа забяспечыць паўтаральнасць і стабільнасць працэсу.Ён абсталяваны функцыяй самаплаўлення, каб паменшыць залежнасць ад навыкаў аператара.
Абсталяванне можа прымяняцца да Cu, Al, Co, Cr, Au, Ag, Ni, Ti і іншых металічных матэрыялаў, а таксама можа быць пакрыта металічнай плёнкай, дыэлектрычнай плёнкай, плёнкай IMD і г.д. яно ў асноўным выкарыстоўваецца ў паўправадніках прамысловасці, такіх як сілавыя прылады, пакрыццё падкладкі паўправадніковай задняй упакоўкі і г.д.