1) Цыліндрычныя мішэні маюць больш высокі ўзровень выкарыстання, чым плоскія мішэні.У працэсе нанясення пакрыцця, незалежна ад таго, ці з'яўляецца гэта цыліндрычная распыляльная мішэнь з ротарнай магнітнай трубкай, усе часткі паверхні мішэні бесперапынна праходзяць праз вобласць распылення, якая ствараецца перад пастаянным магнітам, каб атрымаць катоднае распыленне, і мішэнь можа быць раўнамерна напылена выгравіравана, і каэфіцыент выкарыстання мэты высокі.Каэфіцыент выкарыстання мэтавых матэрыялаў складае каля 80%~90%.
2) Цыліндрычныя мішэні няпроста вырабіць «атручванне мішэняў».У працэсе нанясення пакрыцця паверхня трубкі-мішэні заўсёды распыляецца і тручыцца іёнамі, і на паверхні няпроста назапашваць тоўстыя аксіды і іншыя ізаляцыйныя плёнкі, а таксама няпроста вырабіць «атручванне мішэні».
3) Канструкцыя цыліндрычнай распыляльнай мішэні з паваротнай трубкай простая і простая ва ўсталёўцы.
4) Матэрыял цыліндрычнай мішэні мае розныя тыпы.плоская мішэнь з металічнай мішэнню з прамым вадзяным астуджэннем, а некаторыя не могуць быць апрацаваны і сфарміраваны цыліндрычныя мішэні, такія як мішэнь In2-SnO2 і г. д. з парашковым матэрыялам для гарачага ізастатычнага прэсавання для атрымання пласцінападобных мішэняў, таму што памер не можа быць зроблены вялікі і далікатны, таму неабходна выкарыстоўваць метад пайкі і медную заднюю пласціну для інтэграцыі, а затым усталяваць на мэтавую базу.Акрамя металічных труб, столбчатые мішэні таксама можна напыляць на паверхню труб з нержавеючай сталі рознымі матэрыяламі, якія неабходна пакрыць, такімі як Si, Cr і г.д.
У цяперашні час у прамысловай вытворчасці расце доля цыліндрычных мішэняў для нанясення пакрыццяў.Цыліндрычныя мішэні выкарыстоўваюцца не толькі для вертыкальнай машыны для нанясення пакрыцця, але і для машыны для нанясення пакрыцця з рулона на рулон.У апошнія гады плоскія мішэні-блізняты паступова выцясняюцца цыліндрычнымі мішэнямі-блізнятамі.
——Гэты артыкул быў апублікаваны Guangdong Zhenhua Technology, aвытворца аптычных машын для нанясення пакрыццяў.
Час публікацыі: 11 мая 2023 г