1. Ухіл нарыхтоўкі нізкі
З-за дадання прылады для павелічэння хуткасці іянізацыі шчыльнасць разраднага току павялічваецца, а напружанне зрушэння зніжаецца да 0,5~1 кВ.
Зваротнае напыленне, выкліканае празмернай бамбардзіроўкай высокаэнергетычных іёнаў, і эфект пашкоджання паверхні нарыхтоўкі памяншаюцца.
2. Падвышаная шчыльнасць плазмы
Былі дададзены розныя меры для садзейнічання іянізацыі пры сутыкненні, і хуткасць іянізацыі металу павялічылася з 3% да больш чым 15%.Шчыльнасць іёнаў падбародка і высокаэнергетычных нейтральных атамаў, іонаў азоту, высокаэнергетычных актыўных атамаў і актыўных груп у камеры пакрыцця павялічваецца, што спрыяе рэакцыі з адукацыяй злучэнняў.Вышэйзгаданыя розныя тэхналогіі нанясення іённага пакрыцця тлеючым разрадам змаглі атрымаць пласты цвёрдай плёнкі TN шляхам рэакцыйнага нанясення пры больш высокіх шчыльнасцях плазмы, але паколькі яны адносяцца да тыпу тлеючага разраду, шчыльнасць току разраду недастаткова высокая (па-ранейшаму ўзровень мА/см2 ), і агульная шчыльнасць плазмы недастаткова высокая, і працэс рэакцыі нанясення злучэння пакрыцця цяжкі.
3. Дыяпазон пакрыцця кропкавай крыніцы выпарэння невялікі
Розныя палепшаныя тэхналогіі нанясення іённага пакрыцця выкарыстоўваюць крыніцы электронна-прамянёвага выпарэння і ганту ў якасці кропкавай крыніцы выпарэння, якая абмежавана пэўным інтэрвалам вышэй ганту для рэакцыйнага нанясення, таму прадукцыйнасць нізкая, працэс цяжкі і яго складана індустрыялізаваць.
4. Электронны пісталет працы высокага ціску
Напружанне электроннай гарматы складае 6 ~ 30 кВ, а напружанне зрушэння нарыхтоўкі складае 0,5 ~ 3 кВ, што належыць да высокавольтнай працы і мае пэўную небяспеку для бяспекі.
——Гэты артыкул быў апублікаваны Guangdong Zhenhua Technology, aвытворца аптычных машын для нанясення пакрыццяў.
Час публікацыі: 12 мая 2023 г