1. Тэхналогія тэрмічнага CVD
Цвёрдыя пакрыцці — гэта пераважна металакерамічныя пакрыцці (TiN і інш.), якія ўтвараюцца ў выніку рэакцыі металу ў пакрыцці і рэакцыйнай газіфікацыі.Спачатку тэхналогія цеплавога CVD выкарыстоўвалася для забеспячэння энергіі актывацыі камбінаванай рэакцыі цеплавой энергіяй пры высокай тэмпературы 1000 ℃.Гэтая тэмпература падыходзіць толькі для нанясення TiN і іншых цвёрдых пакрыццяў на інструменты з цэментаванага карбіду.Да гэтага часу важнай тэхналогіяй застаецца нанясенне кампазітных пакрыццяў TiN-Al20 на галоўкі інструментаў з цвёрдага сплаву.
2. Іённае пакрыццё з полым катодам і іённае пакрыццё з гарачай дротам
У 1980-х гадах для нанясення рэжучых інструментаў з пакрыццём выкарыстоўваліся іонныя пакрыцця з полых катодаў і дугавыя іёны з гарачай дротам.Абедзве гэтыя тэхналогіі нанясення іённых пакрыццяў з'яўляюцца тэхналогіямі нанясення іённых пакрыццяў з дугавым разрадам з хуткасцю іянізацыі металу да 20%~40%.
3. Іоннае пакрыццё катоднай дугі
З'яўленне іённага пакрыцця катоднай дугой прывяло да развіцця тэхналогіі нанясення цвёрдых пакрыццяў на формы.Хуткасць іянізацыі іённага пакрыцця катоднай дугой складае 60%~90%, што дазваляе вялікай колькасці іёнаў металу і іёнаў рэакцыйнага газу дасягаць паверхні нарыхтоўкі і пры гэтым захоўваць высокую актыўнасць, што прыводзіць да рэакцыйнага нанясення і адукацыі цвёрдых пакрыццяў, такіх як TiN.У цяперашні час тэхналогія нанясення іённага пакрыцця з катоднай дугой у асноўным выкарыстоўваецца для нанясення цвёрдых пакрыццяў на формы.
Крыніца катоднай дугі ўяўляе сабой цвёрдацельную крыніцу выпарэння без фіксаванай ванны расплаўленага рэчыва, і месца крыніцы дугі можа быць адвольна размешчана, што паляпшае каэфіцыент выкарыстання прасторы памяшкання для нанясення пакрыцця і павялічвае загрузачную здольнасць печы.Формы крыніц катоднай дугі ўключаюць невялікія круглыя крыніцы катоднай дугі, калонныя крыніцы дугі і прамавугольныя плоскія вялікія крыніцы дугі.Розныя кампаненты невялікіх дугавых крыніц, калончатых дугавых крыніц і вялікіх дугавых крыніц можна арганізаваць асобна для нанясення шматслойных плёнак і нанашматслойных плёнак.Між тым, з-за высокай хуткасці іянізацыі металу іённага пакрыцця катоднай дугой іёны металу могуць паглынаць больш рэакцыйных газаў, што прыводзіць да шырокага дыяпазону працэсу і простай працы для атрымання выдатных цвёрдых пакрыццяў.Аднак у мікраструктуры пласта пакрыцця, атрыманага іённым нанясеннем катоднай дугі, ёсць грубыя кроплі.У апошнія гады з'явілася шмат новых тэхналогій для ўдакладнення структуры пласта плёнкі, што палепшыла якасць плёнкі для нанясення дугавога іённага пакрыцця.
——Гэты артыкул быў апублікаваны Guangdong Zhenhua Technology, aвытворца аптычных машын для нанясення пакрыццяў.
Час публікацыі: 28 красавіка 2023 г