Плазменны працэс прамой полімерызацыі

Плазменны працэс прамой полімерызацыі

Працэс плазменнай полімерызацыі адносна просты як для абсталявання для полімерызацыі з унутраным электродам, так і для абсталявання для палімерызацыі з вонкавым электродам, але выбар параметраў больш важны ў плазменнай полімерызацыі, таму што параметры аказваюць большы ўплыў на структуру і характарыстыкі палімерных плёнак падчас плазменнай полімерызацыі.

Этапы прамой плазменнай полімерызацыі наступныя:

(1) Пыласос

Фонавы вакуум полімерызацыі ва ўмовах вакууму павінен быць напампаваны да 1,3×10-1Па.Для рэакцый полімерызацыі, якія патрабуюць асаблівых патрабаванняў да кантролю ўтрымання кіслароду або азоту, патрабаванне фонавага вакууму яшчэ вышэй.

(2) Манамер рэакцыі зарада або сумесь газу-носьбіта і манамера

Ступень вакууму складае 13-130 Па.Для плазменнай полімерызацыі, якая патрабуе працы, неабходна выбраць адпаведны рэжым кантролю патоку і хуткасць патоку, звычайна 10,100 мл/мін.У плазме малекулы манамераў іянізуюцца і раз'ядноўваюцца ў выніку бамбардзіроўкі энергічных часціц, у выніку чаго ўтвараюцца актыўныя часціцы, такія як іёны і актыўныя гены.Актыўныя часціцы, актываваныя плазмай, могуць падвяргацца плазменнай полімерызацыі на мяжы паміж газавай і цвёрдай фазамі.Манамер з'яўляецца крыніцай папярэдніка для плазменнай полімерызацыі, а ўваходны рэакцыйны газ і манамер павінны мець пэўную чысціню.

(3) Выбар крыніцы харчавання ўзбуджэння

Плазма можа стварацца з дапамогай крыніц пастаяннага току, высокай частаты, ВЧ або мікрахвалевай печы для забеспячэння плазменнага асяроддзя для полімерызацыі.Выбар блока харчавання вызначаецца зыходзячы з патрабаванняў да структуры і характарыстыках палімера.

(4) Выбар рэжыму разраду

Для палімерных патрабаванняў плазменная полімерызацыя можа выбраць два рэжымы разраду: бесперапынны разрад або імпульсны разрад.

(5) Выбар параметраў разраду

Пры правядзенні плазменнай полімерызацыі неабходна ўлічваць параметры разраду з параметраў плазмы, уласцівасцей палімера і патрабаванняў да структуры.Велічыня прыкладзенай магутнасці падчас полімерызацыі вызначаецца аб'ёмам вакуумнай камеры, памерам электрода, хуткасцю патоку і структурай манамера, хуткасцю полімерызацыі, а таксама структурай і прадукцыйнасцю палімера.Напрыклад, калі аб'ём рэакцыйнай камеры складае 1 л і выкарыстоўваецца ВЧ-плазменная полімерызацыя, магутнасць разраду будзе ў дыяпазоне 10~30 Вт.У такіх умовах плазма, якая ствараецца, можа агрэгавацца, утвараючы тонкую плёнку на паверхні нарыхтоўкі.Хуткасць росту плёнкі плазменнай полімерызацыі залежыць ад крыніцы харчавання, тыпу манамера і хуткасці патоку, а таксама ўмоў працэсу.Як правіла, хуткасць росту складае 100 нм/мін ~ 1 мкм/мін.

(6) Вымярэнне параметраў у плазменнай полімерызацыі

Параметры плазмы і параметры працэсу, якія трэба вымераць пры плазменнай полімерызацыі, уключаюць: напружанне разраду, ток разраду, частату разраду, тэмпературу электронаў, шчыльнасць, тып і канцэнтрацыю рэакцыйнай групы і г.д.

——Гэты артыкул быў апублікаваны Guangdong Zhenhua Technology, aвытворца аптычных машын для нанясення пакрыццяў.