Падчас нанясення пакрыццяў выпарваннем зараджэнне і рост пласта плёнкі з'яўляюцца асновай розных тэхналогій іённага пакрыцця
1.Зараджэнне
Inтэхналогія нанясення пакрыццяў вакуумным выпарваннемПасля таго, як часціцы плёнкавага пласта выпараюцца з крыніцы выпарэння ў выглядзе атамаў, яны ляцяць непасрэдна да нарыхтоўкі ў высокім вакууме і ўтвараюць плёнкавы пласт шляхам зараджэння і росту на паверхні нарыхтоўкі.Падчас вакуумнага выпарэння энергія атамаў плёнкавага пласта, якія выходзяць з крыніцы выпарэння, складае каля 0,2 эВ.Калі згуртаванасць паміж часціцамі пласта плёнкі большая, чым сіла сувязі паміж атамамі пласта плёнкі і нарыхтоўкай, утвараецца ядро астраўка.Адзін атам пласта плёнкі застаецца на паверхні нарыхтоўкі на працягу пэўнага часу, здзяйсняючы нерэгулярны рух, дыфузію, міграцыю або сутыкненне з іншымі атамамі з адукацыяй атамных кластараў Колькасць атамаў у атамным кластары дасягае пэўнага крытычнага значэння, стабільнага утвараецца ядро, якое называецца ядром аднастайнай формы.
гладкая і змяшчае шмат дэфектаў і прыступак, што выклікае розніцу ў сіле адсорбцыі розных частак нарыхтоўкі на радыеактыўныя атамы.Энергія адсорбцыі паверхні дэфекту большая, чым у нармальнай паверхні, таму яна становіцца актыўным цэнтрам, які спрыяе пераважнай нуклеацыі, званай гетэрагеннай нуклеацыі.Калі сіла кагезіі роўная сіле звязвання або сіла звязвання паміж атамамі мембраны і нарыхтоўкай большая, чым сіла кагезіі паміж атамамі мембраны, утворыцца пласціністая структура.У тэхналогіі іённага пакрыцця ў большасці выпадкаў утвараецца астраўное ядро.
2.Рост
Пасля таго, як ядро плёнкі сфарміравана, яно працягвае расці, захопліваючы падаючыя атамы. Астраўкі растуць і злучаюцца адзін з адным, утвараючы вялікія паўшар'і, паступова ўтвараючы пласт паўсферычнага астраўка, які распаўсюджваецца па паверхні нарыхтоўкі.
Калі атамная энергія пласта плёнкі высокая, ён можа дастаткова дыфузіраваць на паверхні, і гладкая бесперапынная плёнка можа ўтварыцца, калі наступныя ўваходныя атамныя кластары малыя. Калі дыфузія атамаў на паверхні слабая і памер асаджаныя кластары вялікія, яны існуюць як вялікія паўвостраўныя ядра. Верх астраўнога ядра мае моцны эфект зацянення ўвагнутай часткі, што з'яўляецца «эфектам цені». Праекцыя паверхні больш спрыяе захопу наступных асаджаных атамаў і пераважны рост, які прыводзіць да павелічэння ступені ўвагнутасці на паверхні з адукацыяй канічных або столбчатых крышталяў дастатковага памеру.Паміж канічнымі крышталямі ўтвараюцца скразныя пустэчы, і значэнне шурпатасці паверхні павялічваецца. Тонкая тканіна можа быць атрымана пры высокім вакууме, з памяншэннем ступені вакууму мікраструктура мембраны становіцца ўсё тоўшчы і тоўшчы.
Час размяшчэння: 24 мая 2023 г