Працэс нанясення іённага пакрыцця з крыніцы катоднай дугі ў асноўным такі ж, як і ў іншых тэхналогіях нанясення пакрыцця, і некаторыя аперацыі, такія як устаноўка нарыхтовак і пыласошэнне, больш не паўтараюцца.
1.Бамбардавая ачыстка нарыхтовак
Перад нанясеннем пакрыцця ў камеру для нанясення пакрыцця ўводзіцца газ аргон з разрэджаннем 2×10-2Па.
Уключыце імпульснае сілкаванне зрушэння з працоўным цыклам 20% і зрушэннем нарыхтоўкі 800-1000 В.
Пры ўключэнні сілкавання дугі генеруецца дугавы светлавы разрад халоднага поля, які выпускае вялікую колькасць электроннага току і току іёнаў тытана ад крыніцы дугі, утвараючы плазму высокай шчыльнасці.Іёны тытана паскараюць яго ін'екцыю ў нарыхтоўку пад адмоўным высокім ціскам зрушэння, якое прыкладваецца да нарыхтоўкі, бамбардуючы і распыляючы рэшткавы газ і забруджвальныя рэчывы, адсарбаваныя на паверхні нарыхтоўкі, а таксама чысцячы і ачышчаючы паверхню нарыхтоўкі;У той жа час газападобны хлор у камеры для нанясення пакрыцця іянізуецца электронамі, а іёны аргону паскараюць бамбаванне паверхні нарыхтоўкі.
Такім чынам, эфект ачысткі ад бамбардзіроўкі добры.Толькі каля 1 хвіліны ачысткі бамбардзіроўкай можна ачысціць нарыхтоўку, што называецца «бамбардзіроўкай асноўнай дугой».З-за вялікай масы іёнаў тытана, калі невялікая крыніца дугі выкарыстоўваецца для бамбардзіроўкі і ачысткі нарыхтоўкі занадта доўга, тэмпература нарыхтоўкі схільная да перагрэву, і край інструмента можа стаць мяккім.У агульным вытворчасці невялікія дугавыя крыніцы ўключаюцца адзін за адным зверху ўніз, і кожны невялікі дугавы крыніца мае час ачысткі ад бамбардзіроўкі каля 1 хвіліны.
（1）Ніжні пласт тытанавага пакрыцця
Каб палепшыць адгезію паміж плёнкай і падкладкай, перад нанясеннем нітрыду тытана звычайна наносіцца пласт чыстай тытанавай падкладкі.Адрэгулюйце ўзровень вакууму да 5×10-2-3×10-1Па, адрэгулюйце напружанне зрушэння нарыхтоўкі да 400-500 В і адрэгулюйце працоўны цыкл імпульснага блока харчавання да 40%~50%.Усё яшчэ запальваючы невялікія дугавыя крыніцы адну за адной для стварэння дугавога разраду халоднага поля.За кошт памяншэння адмоўнага напружання зрушэння нарыхтоўкі памяншаецца энергія іёнаў тытана.Пасля дасягнення нарыхтоўкі эфект распылення менш, чым эфект нанясення, і на нарыхтоўцы ўтворыцца тытанавы пераходны пласт для паляпшэння сілы сувязі паміж пластом цвёрдай плёнкі нітрыду тытана і падкладкай.Гэты працэс таксама з'яўляецца працэсам нагрэву нарыхтоўкі.Калі мішэнь з чыстага тытана разраджаецца, святло ў плазме блакітнага колеру.
1.Цвёрдае плёнкавае пакрыццё чары з аммонам
Адрэгулюйце ступень вакууму да 3×10-1-5Па, адрэгулюйце напружанне зрушэння нарыхтоўкі да 100-200 В і адрэгулюйце працоўны цыкл імпульснага крыніцы харчавання да 70%~80%.Пасля ўвядзення азоту адбываецца камбінаваная рэакцыя тытана з плазмай дугавога разраду для нанясення цвёрдай плёнкі нітрыду тытана.У гэты момант святло плазмы ў вакуумнай камеры вішнёва-чырвонае.Калі С2H2, О2і інш. ўводзяцца TiCN, TiO2, і г.д. можна атрымаць пласты плёнкі.
– Гэты артыкул быў апублікаваны Guangdong Zhenhua, aвытворца машын для вакуумнага пакрыцця
Час публікацыі: 01 чэрвеня 2023 г