Theвакуумнае пакрыццёмашынны працэс дзеліцца на: вакуумнае напыленне, вакуумнае напыленне і вакуумнае іённае пакрыццё.
1、Вакуумнае пакрыццё
Ва ўмовах вакууму выпарыце матэрыял, напрыклад, метал, металічны сплаў і г.д., затым нанясіце іх на паверхню падкладкі. Метад нанясення пакрыцця выпараннем часта складаецца з выкарыстання супраціўляльнага нагрэву, а затым бамбардзіроўкі матэрыялу пакрыцця электронным прамянём, каб зрабіць іх выпарваецца ў газавую фазу, затым наносіцца на паверхню падкладкі. Гістарычна склалася, што вакуумнае асаджэнне з паравай фазы - гэта ранейшая тэхналогія, якая выкарыстоўвалася ў метадзе PVD.
2、Напыленне пакрыцця
Газ падвяргаецца тлеючаму разраду ва ўмовах напоўненага (Ar) вакууму. У гэты момант іёны атамаў аргону (Ar) ператвараюцца ў іёны азоту (Ar). Іёны паскараюцца сілай электрычнага поля і бамбяць катодную мішэнь, якая зроблены з матэрыялу пакрыцця, мішэнь будзе распылена і асаджана на паверхню падкладкі. Іёны, якія трапляюць у напыленне, звычайна атрымліваюцца тлеючым разрадам, знаходзяцца ў дыяпазоне ад 10-2pa да 10Pa，Такім чынам, распыленыя часціцы лёгка сутыкаюцца з малекуламі газу ў вакуумнай камеры пры палёце да падкладкі, робячы кірунак руху выпадковым і нанесеную плёнку лёгка быць аднастайнай.
3、Іённае пакрыццё
Ва ўмовах вакууму Ва ўмовах вакууму выкарыстоўваўся пэўны метад плазменнай іянізацыі для частковай іянізацыі атамаў матэрыялу пакрыцця ў іёны. У той жа час утвараецца шмат нейтральных атамаў высокай энергіі, якія адмоўна зрушаныя на падкладку. Такім чынам, іёны наносяцца на паверхню падкладкі пад глыбокім адмоўным ухілам, утвараючы тонкую плёнку.
Час публікацыі: 23 сакавіка 2023 г