RCW600

У гэтай серыі абсталявання выкарыстоўваюцца магнетронныя мішэні для пераўтварэння пакрыццяў у часціцы нанаметровага памеру, якія асаджваюцца на паверхні падкладак з адукацыяй тонкіх плёнак.Згорнутую плёнку змяшчаюць у вакуумную камеру.Праз структуру намоткі з электрычным прывадам адзін канец прымае плёнку, а другі кладзе плёнку.Ён працягвае праходзіць праз мэтавую вобласць і прымае мэтавыя часціцы, утвараючы шчыльную плёнку.
Характарыстыка:

1. Нізкая тэмпература фарміравання плёнкі.Тэмпература мала ўплывае на плёнку і не прывядзе да дэфармацыі.Ён падыходзіць для рулонных плёнак з ПЭТ, ПІ і іншых асноўных матэрыялаў.
2. Таўшчыня плёнкі можа быць распрацавана.Тонкія або тоўстыя пакрыцця могуць быць распрацаваны і нанесены шляхам рэгулявання працэсу.
3. Дызайн з некалькімі мэтавымі месцамі, гнуткі працэс.Уся машына можа быць абсталявана васьмю мішэнямі, якія могуць выкарыстоўвацца альбо ў якасці простых металічных мішэняў, альбо ў якасці складаных і аксідных мішэняў.Ён можа быць выкарыстаны для падрыхтоўкі аднаслаёвых плёнак з адной структурай або шматслойных плёнак з кампазітнай структурай.Працэс вельмі гнуткі.

Абсталяванне можа вырабляць электрамагнітную экрануючую плёнку, гнуткае пакрыццё друкаванай платы, розныя дыэлектрычныя плёнкі, шматслаёвую антыблікавую плёнку AR, высокапрасветную плёнку HR, каляровую плёнку і г. д. Абсталяванне мае вельмі шырокі спектр прымянення і нанясенне аднаслаёвай плёнкі. можа быць завершана аднаразовым нанясеннем плёнкі.
Абсталяванне можа выкарыстоўваць простыя металічныя мішэні, такія як Al, Cr, Cu, Fe, Ni, SUS, TiAl і г.д., або складаныя мішэні, такія як SiO2, Si3N4, Al2O3, SnO2, ZnO, Ta2O5, ITO, AZO і г.д.

Абсталяванне мае невялікія памеры, кампактную канструкцыю, невялікую плошчу, нізкае энергаспажыванне і гнуткае рэгуляванне.Ён вельмі падыходзіць для даследаванняў і распрацовак працэсаў або дробнасерыйнай масавай вытворчасці.