Фактычна тэхналогія нанясення з дапамогай іённага прамяня - гэта кампазітная тэхналогія.Гэта кампазітны метад апрацоўкі паверхні іёнамі, які спалучае тэхналогію іоннай імплантацыі і плёнкавага фізічнага нанясення з парнай фазы, а таксама новы тып метаду аптымізацыі паверхні іённага пучка.У дадатак да пераваг фізічнага нанясення з паравай фазы, гэты метад можа бесперапынна нарошчваць плёнку любой таўшчыні ў больш строгіх умовах кантролю, значна паляпшаць крышталічнасць і арыентацыю пласта плёнкі, павялічваць трываласць адгезіі пласта плёнкі/падкладкі, паляпшаць шчыльнасць пласта плёнкі, а таксама сінтэз складаных плёнак з ідэальнымі стэхіаметрычнымі суадносінамі пры тэмпературы, блізкай да пакаёвай, у тым ліку новыя тыпы плёнак, якія немагчыма атрымаць пры пакаёвай тэмпературы і ціску.Нанясенне з дапамогай іённага прамяня не толькі захоўвае перавагі працэсу іоннай імплантацыі, але таксама можа пакрываць падкладку плёнкай, цалкам адрознай ад падкладкі.
Ва ўсіх відах фізічнага і хімічнага асаджэння з паравай фазы можа быць дададзены набор дапаможных іённых гармат для бамбардзіроўкі, каб утварыць сістэму IBAD, і ёсць два агульныя працэсы IBAD, як паказана на малюнку:
Як паказана на малюнку (а), крыніца электронна-прамянёвага выпарэння выкарыстоўваецца для апраменьвання пласта плёнкі іённым пучком, які выпускаецца з іённай гарматы, такім чынам рэалізуючы нанясенне з дапамогай іённага прамяня.Перавага заключаецца ў тым, што энергію і кірунак пучка іёнаў можна рэгуляваць, але ў якасці крыніцы выпарэння можна выкарыстоўваць толькі адзін або абмежаваны сплаў або злучэнне, а ціск пары кампанента сплаву і злучэння розны, што ўскладняе задачу для атрымання пласта плёнкі арыгінальнага складу крыніцы выпарэння.
На малюнку (b) паказана асаджэнне з дапамогай іённа-прамянёвага распылення, якое таксама вядома як падвойнае іённа-прамянёвае напыленне, пры якім у якасці крыніцы выкарыстоўваецца мішэнь з матэрыялу пакрыцця іённа-прамянёвага напылення, а прадукты распылення выкарыстоўваюцца ў якасці крыніцы.Пры нанясенні на падкладку нанясенне з дапамогай іённа-прамянёвага распылення дасягаецца шляхам апраменьвання іншай крыніцай іёнаў.Перавага гэтага метаду ў тым, што самі напыленыя часціцы валодаюць пэўнай энергіяй, дзякуючы чаму адбываецца лепшае счапленне з падкладкай;на любы кампанент мішэні можа быць напыленае пакрыццё, але таксама можа быць рэакцыйнае напыленне ў плёнку, лёгка наладзіць склад плёнкі, але яе эфектыўнасць нанясення нізкая, мішэнь дарагая і ёсць такія праблемы, як селектыўнае напыленне.
Час публікацыі: 8 лістапада 2022 г