Абсталяванне для нанясення кампазітнага пакрыцця магнетроннага распылення і катоднага шматдугавога іённага пакрыцця можа працаваць асобна і адначасова;можна нанесці і падрыхтаваць плёнку з чыстага металу, плёнку з металу або кампазітную плёнку;можа быць аднаслаёвая плёнка і шматслаёвая кампазітная плёнка.
Яго перавагі наступныя:
Ён не толькі аб'ядноўвае перавагі розных іённых пакрыццяў і ўлічвае падрыхтоўку і нанясенне тонкай плёнкі для розных абласцей прымянення, але таксама дазваляе наносіць і рыхтаваць шматслойныя маналітныя плёнкі або шматслойныя кампазітныя плёнкі ў адным і тым жа вакууме. камеры пакрыцця за адзін раз.
Шырока выкарыстоўваюцца тэхналогіі нанесеных плёнкавых слаёў у розных формах, тыповыя наступныя:
(1) Злучэнне нераўнаважнага магнетроннага распылення і тэхналогіі катоднага іённага пакрыцця.
Яго прылада паказана наступным чынам.Гэта кампазіцыйнае абсталяванне для пакрыцця калончатай магнетроннай мішэні і іённага пакрыцця з плоскай катоднай дугой, якое падыходзіць як для пакрыцця інструмента, так і для дэкаратыўнага плёнкавага пакрыцця.Для пакрыцця інструмента спачатку выкарыстоўваецца іённае пакрыццё катоднай дугі для пакрыцця базавага пласта, а затым калонка магнетроннай мішэні выкарыстоўваецца для нанясення нітрыду і іншых слаёў плёнкі для атрымання высокадакладнай апрацоўчай плёнкі паверхні інструмента.
Для дэкаратыўнага пакрыцця дэкаратыўныя плёнкі TiN і ZrN можна спачатку нанесці катодна-дугавым пакрыццём, а затым легаваць металам з дапамогай магнетронных мішэняў, і эфект легіравання вельмі добры.
(2) Камбінацыя двухплоскаснага магнетрона і метадаў нанясення іённага пакрыцця дуговага катода калонкі.Прылада паказана наступным чынам.Выкарыстоўваецца перадавая тэхналогія падвойных мішэняў, калі дзве мішэні-блізняты, падлучаныя да сярэднечашчыннага крыніцы харчавання, не толькі пераадольваюць атручванне мішэні распыленнем пастаяннага току, узгараннем і іншымі недахопамі;і можа адкладваць якасную плёнку аксіду Al203, SiO2, каб устойлівасць да акіслення частак з пакрыццём павялічылася і палепшылася.Калонная шматдугавая мішэнь, усталяваная ў цэнтры вакуумнай камеры, матэрыял мішэні можа быць выкарыстаны Ti і Zr, не толькі для захавання пераваг высокай хуткасці дысацыяцыі некалькіх дуг, хуткасці нанясення, але таксама можа эфектыўна паменшыць "кроплі" ў працэс нанясення мішэні з некалькімі дугамі ў невялікіх плоскасцях, можа асаджваць і рыхтаваць металічныя плёнкі з нізкай сітаватасцю, складаныя плёнкі.Калі Al і Si выкарыстоўваюцца ў якасці матэрыялаў-мішэняў для двайных планарных магнетронных мішэняў, устаноўленых на перыферыі, можна нанесці і падрыхтаваць металакерамічныя плёнкі Al203 або Si0.Акрамя таго, на перыферыі можна ўсталяваць некалькі невялікіх плоскасцей шматдугавой крыніцы выпарэння, а яе мэтавым матэрыялам можа быць Cr або Ni, а таксама можна наносіць і рыхтаваць металічныя плёнкі і шматслойныя кампазітныя плёнкі.Такім чынам, гэтая тэхналогія кампазітнага пакрыцця з'яўляецца тэхналогіяй кампазітнага пакрыцця з некалькімі прымяненнямі.
Час публікацыі: 8 лістапада 2022 г