Оборудването приема вертикална структура на предната врата и оформление на клъстер.Може да бъде оборудван с източници на изпарение за метали и различни органични материали и може да изпарява силициеви пластини с различни спецификации.Оборудван със система за прецизно подравняване, покритието е стабилно и има добра повторяемост.
Оборудването за нанасяне на покритие GX600 може точно, равномерно и контролирано да изпарява органични светлоизлъчващи материали или метални материали върху субстрата.Той има предимствата на просто образуване на филм, висока чистота и висока компактност.Напълно автоматичната система за мониторинг на дебелината на филма в реално време може да гарантира повторяемостта и стабилността на процеса.Той е оборудван с функция за саморазтопяване, за да се намали зависимостта от уменията на оператора.
Оборудването може да се прилага към Cu, Al, Co, Cr, Au, Ag, Ni, Ti и други метални материали и може да бъде покрито с метален филм, диелектричен слой филм, IMD филм и др. използва се главно в полупроводниците промишленост, като захранващи устройства, покритие на субстрата на задната част на полупроводниковата опаковка и др.
GX600 | GX900 |
φ600*800 (mm) | φ900*H1050(mm) |