1) Цилиндричните цели имат по-висок процент на използване от планарните цели.В процеса на нанасяне на покритие, независимо дали става въпрос за въртящ се магнитен тип или цилиндрична мишена за разпръскване от тип ротационна тръба, всички части от повърхността на целевата тръба непрекъснато преминават през зоната за разпрашаване, генерирана пред постоянния магнит, за да получат катодно разпръскване, и целта може да бъде равномерно напръскана гравирана и степента на използване на целта е висока.Степента на използване на целевите материали е около 80% ~ 90%.
2) Цилиндричните мишени няма лесно да предизвикат „отравяне на целта“.По време на процеса на нанасяне на покритие повърхността на целевата тръба винаги се разпръсква и гравира от йони и не е лесно да се натрупат дебели оксиди и други изолационни филми върху повърхността и не е лесно да се произведе „отравяне на целта“.
3) Структурата на цилиндричната мишена за разпръскване от типа на ротационната мишена е проста и лесна за инсталиране.
4) Материалът на цилиндричната целева тръба има различни видове.равнинна мишена с метална мишена директно водно охлаждане, а някои не могат да бъдат обработени и оформени цилиндрични мишени, като In2-SnO2 мишена и т.н. с прахообразен материал за горещо изостатично пресоване, за да се получат пластинови мишени, тъй като размерът не може да бъде направен голям и крехък, така че е необходимо да се използва метод на запояване и медна задна плоча за интегриране и след това да се инсталира върху целевата основа.В допълнение към металните тръби, колонните мишени могат също да бъдат пръскани върху повърхността на тръби от неръждаема стомана с различни материали, които трябва да бъдат покрити, като Si, Cr и др.
Понастоящем делът на цилиндричните цели за покритие в промишленото производство се увеличава.Цилиндричните цели се използват не само за машината за вертикално нанасяне на покритие, но и в машината за нанасяне на покритие от ролка до ролка.През последните години плоските двойни мишени постепенно се заменят с цилиндричните двойни мишени.
——Тази статия е публикувана от Guangdong Zhenhua Technology, aпроизводител на машини за оптично покритие.
Време на публикуване: 11 май 2023 г