① Добра управляемост и повторяемост на дебелината на филма
Дали дебелината на филма може да се контролира на предварително определена стойност се нарича възможност за контрол на дебелината на филма.Необходимата дебелина на филма може да се повтори многократно, което се нарича повтаряемост на дебелината на филма. Тъй като разрядният ток и целевият ток на покритието с вакуумно разпръскване могат да се контролират отделно.Следователно, дебелината на разпръснатия филм може да се контролира и филмът с предварително определена дебелина може да бъде надеждно отложен.В допълнение, разпрашеното покритие може да получи филм с еднаква дебелина върху голяма повърхност.
② Силна адхезия между филма и субстрата
Енергията на разпръснатите атоми е с 1-2 порядъка по-висока от тази на изпарените атоми.Енергийното преобразуване на високоенергийните разпръснати атоми, отложени върху субстрата, е много по-високо от това на изпарените атоми, което генерира по-висока топлина и подобрява адхезията между разпръснатите атоми и субстрата.В допълнение, някои високоенергийни разпръснати атоми произвеждат различни степени на инжектиране, образувайки псевдодифузионен слой върху субстрата.В допълнение, субстратът винаги се почиства и активира в областта на плазмата по време на процеса на образуване на филм, който премахва разпръскващите атоми със слаба адхезия и пречиства и активира повърхността на субстрата.Поради това напръсканият филм има силна адхезия към субстрата.
③ Може да се подготви филм от нов материал, различен от целта
Ако по време на разпръскването се въведе реактивен газ, за да реагира с мишената, може да се получи филм от нов материал, напълно различен от мишената.Например силиций се използва като мишена за разпръскване, а кислород и аргон се поставят заедно във вакуумната камера.След разпръскване може да се получи изолационен филм SiOz.Използвайки титан като мишена за разпрашаване, азотът и аргонът се поставят във вакуумната камера заедно и филмът, подобен на злато от фаза TiN, може да бъде получен след разпрашаване.
④ Висока чистота и добро качество на филма
Тъй като няма компонент на тигела в устройството за подготовка на разпръскващ филм, компонентите на нагревателния материал на тигела няма да бъдат смесени в слоя разпръскващ филм.Недостатъците на разпръскващото покритие са, че скоростта на образуване на филм е по-бавна от тази на покритието чрез изпаряване, температурата на субстрата е по-висока, лесно се влияе от примесен газ и структурата на устройството е по-сложна.
Тази статия е публикувана от Guangdong Zhenhua, производител наоборудване за вакуумно покритие
Време на публикуване: март-09-2023