1. Термична CVD технология
Твърдите покрития са предимно металокерамични покрития (TiN и др.), които се образуват от реакцията на метала в покритието и реактивната газификация.Първоначално термичната CVD технология се използва за осигуряване на енергията на активиране на комбинираната реакция чрез топлинна енергия при висока температура от 1000 ℃.Тази температура е подходяща само за нанасяне на TiN и други твърди покрития върху инструменти от карбид.Досега все още е важна технология за нанасяне на композитни покрития TiN-Al20 върху глави на инструменти от циментиран карбид.
2. Йонно покритие с кух катод и йонно покритие с гореща тел
През 80-те години йонното покритие с кух катод и йонното покритие с гореща тел се използват за нанасяне на режещи инструменти с покритие.И двете технологии за йонно покритие са технологии за йонно покритие с електродъгов разряд със степен на йонизация на метала до 20%~40%.
3. Йонно покритие на катодна дъга
Появата на йонно покритие с катодна дъга доведе до развитието на технологията за нанасяне на твърди покрития върху форми.Степента на йонизация на йонното покритие с катодна дъга е 60% ~ 90%, което позволява на голям брой метални йони и реакционни газови йони да достигнат повърхността на детайла и все още да поддържат висока активност, което води до реакционно отлагане и образуване на твърди покрития като напр. TiN.Понастоящем технологията за йонно покритие с катодна дъга се използва главно за нанасяне на твърди покрития върху форми.
Източникът на катодна дъга е източник на изпарение в твърдо състояние без фиксиран резервоар от стопилка и позицията на източника на дъгата може да бъде произволно разположена, подобрявайки степента на използване на пространството на помещението за нанасяне на покритие и увеличавайки капацитета на зареждане на пещта.Формите на източниците на катодна дъга включват малки кръгли източници на катодна дъга, колонни източници на дъга и правоъгълни плоски големи източници на дъга.Различни компоненти на малки дъгови източници, колонни дъгови източници и големи дъгови източници могат да бъдат подредени отделно за отлагане на многослойни филми и нано многослойни филми.Междувременно, поради високата скорост на йонизация на метала на йонното покритие с катодна дъга, металните йони могат да абсорбират повече реакционни газове, което води до широк диапазон на процеса и проста работа за получаване на отлични твърди покрития.Въпреки това има груби капчици в микроструктурата на покриващия слой, получен чрез йонно покритие с катодна дъга.През последните години се появиха много нови технологии за усъвършенстване на структурата на филмовия слой, което подобри качеството на дъговия йонен покривен филм.
——Тази статия е публикувана от Guangdong Zhenhua Technology, aпроизводител на машини за оптично покритие.
Време на публикуване: 28 април 2023 г