Процес на директна плазмена полимеризация

Процес на директна плазмена полимеризация

Процесът на плазмена полимеризация е сравнително прост както за оборудване за полимеризация с вътрешен електрод, така и за оборудване за полимеризация с външен електрод, но изборът на параметри е по-важен при плазмената полимеризация, тъй като параметрите имат по-голямо влияние върху структурата и производителността на полимерните филми по време на плазмената полимеризация.

Оперативните стъпки за директна плазмена полимеризация са както следва:

(1) Почистване с прахосмукачка

Фоновият вакуум на полимеризацията при вакуумни условия трябва да се изпомпва до 1,3×10-1Pa.За реакции на полимеризация, които изискват специални изисквания за контролиране на съдържанието на кислород или азот, изискването за фонов вакуум е още по-високо.

(2) Реакционен мономер или смесен газ от газ носител и мономер

Степента на вакуум е 13-130Pa.За плазмена полимеризация, изискваща работа, трябва да се изберат подходящ режим на контрол на потока и скорост на потока, обикновено 10,100 ml/min.В плазмата мономерните молекули се йонизират и дисоциират чрез бомбардиране на енергийни частици, което води до активни частици като йони и активни гени.Активните частици, активирани от плазмата, могат да претърпят плазмена полимеризация на границата на газовата фаза и твърдата фаза.Мономерът е източникът на прекурсор за плазмена полимеризация, а входящият реакционен газ и мономерът трябва да имат определена чистота.

(3) Избор на захранване за възбуждане

Плазмата може да се генерира с помощта на DC, високочестотни, RF или микровълнови източници на енергия, за да се осигури плазмена среда за полимеризация.Изборът на захранване се определя въз основа на изискванията за структурата и характеристиките на полимера.

(4) Избор на режим на разреждане

За изискванията на полимерите плазмената полимеризация може да избере два режима на разреждане: непрекъснато разреждане или импулсно разреждане.

(5) Избор на параметри на изхвърляне

Когато се извършва плазмена полимеризация, параметрите на разряда трябва да се вземат предвид от параметрите на плазмата, свойствата на полимера и структурните изисквания.Големината на приложената мощност по време на полимеризация се определя от обема на вакуумната камера, размера на електрода, скоростта на потока и структурата на мономера, скоростта на полимеризация и структурата и производителността на полимера.Например, ако обемът на реакционната камера е 1L и е приета RF плазмена полимеризация, мощността на разреждане ще бъде в диапазона от 10~30W.При такива условия генерираната плазма може да се агрегира, за да образува тънък филм върху повърхността на детайла.Скоростта на растеж на филма за плазмена полимеризация варира в зависимост от захранването, вида на мономера и скоростта на потока и условията на процеса.Обикновено скоростта на растеж е 100nm/min~1um/min.

(6) Измерване на параметри при плазмена полимеризация

Плазмените параметри и параметрите на процеса, които трябва да бъдат измерени при плазмената полимеризация, включват: напрежение на разреждане, ток на разреждане, честота на разреждане, електронна температура, плътност, тип и концентрация на реакционната група и др.

——Тази статия е публикувана от Guangdong Zhenhua Technology, aпроизводител на машини за оптично покритие.