Поток на процеса на машина за нанасяне на покритие чрез разпръскване

1. Субстрат за почистване на бомбардиране

1.1) Машината за нанасяне на покритие използва светещ разряд за почистване на субстрата.Тоест, заредете аргоновия газ в камерата, разрядното напрежение е около 1000 V. След включване на захранването се генерира тлеещ разряд и субстратът се почиства чрез бомбардиране с аргонови йони.

1.2) В машините за разпръскване на покрития, които промишлено произвеждат орнаменти от висок клас, титаниевите йони, излъчвани от малки дъгови източници, се използват най-вече за почистване.Машината за разпрашващо покритие е оборудвана с източник на малка дъга и потокът от титанов йон в плазмата на дъгата, генериран от разряда на източника на малка дъга, се използва за бомбардиране и почистване на субстрата.

2. Покритие от титаниев нитрид

При отлагане на тънки слоеве от титанов нитрид целевият материал за разпръскване е титанова цел.Целевият материал е свързан към отрицателния електрод на захранването за разпръскване и целевото напрежение е 400 ~ 500 V;Потокът на аргон е фиксиран, а контролният вакуум е (3~8) x10^-1PA.Субстратът е свързан към отрицателния електрод на захранващия блок с напрежение 100~200V.

След включване на захранването на разпръскващата титанова мишена се генерира тлеещ разряд и високоенергийни аргонови йони бомбардират разпръскващата мишена, разпръсквайки титанови атоми от мишената.

Реакционният газ азот се въвежда и титановите атоми и азотът се йонизират в титаниеви йони и азотни йони в камерата за покритие.Под привличането на електрическото поле с отрицателно отклонение, приложено към субстрата, титаниевите йони и азотните йони се ускоряват към повърхността на субстрата за химическа реакция и отлагане, за да образуват филмов слой от титанов нитрид.

3. Извадете субстрата

След достигане на предварително определената дебелина на филма, изключете захранването за разпръскване, захранването на субстрата и източника на въздух.След като температурата на субстрата е по-ниска от 120 ℃, напълнете камерата за покритие с въздух и извадете субстрата.

Тази статия е публикувана отпроизводител на машини за магнетронно разпрашване на покритие– Гуандун Джънхуа.