Процесът на йонно покритие с кух катод е както следва:
1、Поставете слитъци Чин в колапса.
2、Монтаж на детайла.
3、След евакуиране до 5×10-3Pa, газът аргон се въвежда в камерата за покритие от сребърната тръба и нивото на вакуум е около 100Pa.
4、Включете захранването на отклонението.
5、След включване на захранването на дъгата за запалване на разряда с кух катод. Светещият разряд се генерира в тръбата на бутона, напрежението на разреждане е 800~1000V, токът на покачване на дъгата е 30~50A. Поради ефекта на сиянието на кухия катод разряд, Висока плътност на тока на тлеещ разряд, Високата плътност на плъши йони в сребърната тръба бомбардира стената на тръбата, накарайте стената на тръбата бързо да се затопли до излъчване на електронен поток, режимът на разреждане от тлеещ разряд внезапна промяна на дъгов разряд, напрежението е 40 ~ 70 V, токът е 80 ~ 300 A. Температурата на сребърната тръба достига над 2300 K, нажежаема жичка, излъчва поток от дъгови електрони с висока плътност от тръбата и се изстрелва към анода.
6、Регулиране на нивото на вакуума. Нивото на вакуума за тлеещ разряд от пистолет с кух катод е около 100 Pa, а степента на вакуум на покритие е 8×10-1~2Pa. Следователно, след запалване на дъговия разряд, намалете входящия аргон газ възможно най-скоро, регулирайте нивото на вакуума до диапазон, подходящ за нанасяне на покритие.
7、Покрит с титан основен слой. Електронен поток върху анодно сгънатия метален слитък Chin, Преобразуване на кинетичната енергия в топлинна енергия, Изпаряване на Chin метала чрез нагряване, Атомите на парата достигат детайла, за да образуват титанов филм.
8、Отлагане на TiN. Азотният газ се подава към камерата за покритие, азотният газ и изпарените атоми се йонизират в азотни и титанови йони. Над тигела, по-висока вероятност от нееластични сблъсъци на атоми на титанови пари с плътни потоци от нискоенергийни електрони, Степента на дисоциация на метала е 20% ~ 40%., Титаниевите йони са по-склонни да реагират химически с реакционния газ азот, Отлагане за получаване на слой от нитриден мантиен филм. Пистолетът с кух катод е едновременно източник на изпарение, Друг източник на йонизация. По време на нанасяне на покритиетокът на електромагнитната намотка около тигела също трябва да се регулира. Фокусирайте електронния лъч към центъра на колапса. По този начин плътността на мощността на електронния поток се увеличава.
9、Изключване. След като дебелината на филма достигне предварително определената дебелина, изключете електрозахранването на дъгата、Биас захранването и подаването на въздух.
Време на публикуване: 08 юли 2023 г