Theоборудване за вакуумно покритиесе състои от много прецизни части, които се изработват чрез много процеси, като заваряване, шлайфане, струговане, рендосване, пробиване, фрезоване и т.н.Поради тези работи, повърхността на частите на оборудването неизбежно ще бъде замърсена с някои замърсители като грес, маслена мръсотия, метални стружки, заваръчен флюс, полираща паста, следи от пот и т.н.Тези замърсители лесно се изпаряват при условия на вакуум, като по този начин влияят на крайния вакуум на оборудването.
В допълнение, тези вакуумни замърсители от механична обработка абсорбират голямо количество газ в средата на атмосферното налягане и във вакуумно състояние тези преди това адсорбирани газове също ще бъдат освободени отново, превръщайки се в основен фактор, ограничаващ граничния вакуум.Поради тази причина замърсителите трябва да бъдат отстранени преди сглобяването на частите на машината за вакуумно покритие.
По време на използването на вакуумно оборудване неговите компоненти също ще бъдат замърсени.Замърсяването от този източник обаче се дължи главно на условията на употреба и вакуумната помпа.
1. Изпаряването на нажежаемата жичка на вакуумметъра при условия на висока температура ще доведе до образуването на филм върху керамичния изолатор, което ще увреди неговата изолационна якост до известна степен и също ще има известно въздействие върху точността на неговата измерване;
2. Поради високотемпературно изпарение ще се образува метален филм на повърхността близо до нишката на електронния пистолет във вакуум;
3. Поради разпръскване на детайла, вътрешната стена на оборудването за ецване с йонен лъч ще бъде замърсена от пръски;
4. Вътрешната стена на оборудването за покритие чрез вакуумно изпаряване ще бъде замърсена от целевия материал за изпаряване;
5. Често се използва система за вакуумно сушене и системата ще бъде замърсена от изпарените вещества;
6. Маслото от дифузионна помпа и маслото от механична помпа в оборудването за вакуумно покритие също са основен източник на замърсяване.След като машината за нанасяне на покритие е работила дълго време, вътре в оборудването може да се образува маслен филм.
За да обобщим, вакуумната санитария на оборудването включва вакуумно оборудване, вакуумна система, производство на вакуумен процес и други аспекти и връзки, както и изискванията на самото оборудване за вакуумно покритие и специалния вакуумен процес относно условията на употреба.Следователно вакуумното замърсяване е проблем, който заслужава внимание, тъй като това замърсяване ще повлияе на работата на оборудването и трябва да се обръща внимание на редовното или по всяко време почистване.
Време на публикуване: 21 февруари 2023 г