Процесът на вакуумно покритие има строги изисквания за средата на приложение.За конвенционалния вакуумен процес неговите основни изисквания за вакуумна санитария са: няма натрупан източник на замърсяване върху частите или повърхността на оборудването във вакуума, повърхността на вакуумната камера е гладка и без мека тъкан, пори и ъглово пространство , така че заваръчният шев във вакуумната машина няма да повлияе на вакуума, а машината с висок вакуум не трябва да използва масло като смазка.Безмаслената свръхвисока вакуумна система трябва да избягва влиянието на маслените пари върху чистотата, работните характеристики или повърхностните характеристики на работната среда.Металната система с ултрависок вакуум често използва 1Cr18Ni9Ti като структурен материал.Лабораторията или работилницата, където машината за вакуумно покритие трябва да се поддържа чиста и санитарна.
В процеса на вакуумно покритие обработката за почистване на повърхността е много важна.По принцип, преди всички субстрати да бъдат заредени във вакуумната камера за нанасяне на покритие, те трябва да преминат през процеса на почистване преди нанасяне на покритие, за да се постигне обезмасляване, обеззаразяване и дехидратиране на детайла.
Основните източници на повърхностно замърсяване на покритите части са: прах, пот, грес, полираща паста, масло, смазочно масло и други вещества, които ще се задържат по време на обработка, предаване, опаковане и други процеси;Газ, адсорбиран и абсорбиран върху повърхността на частите на оборудването;Оксидният филм се образува върху повърхността на частите на машината за нанасяне на покритие във влажен въздух.При замърсяване от тези източници повечето от тях могат да бъдат отстранени чрез обезмасляване или химическо почистване.
Не съхранявайте почистени детайли в атмосферна среда.За да намалите замърсяването с прах и да почистите съхранението на детайлите, често използвайте почистващи шкафове или затворени контейнери за съхранение на детайлите.Стъкленият субстрат трябва да се съхранява в прясно окислен алуминиев контейнер, което може да намали адсорбцията на въглеводородни пари.Тъй като наскоро окислените алуминиеви контейнери ще абсорбират предимно въглеводороди.Повърхности, чувствителни към водна пара или силно нестабилни, обикновено се съхраняват във вакуумна сушилня.
Основните изисквания на процеса на вакуумно покритие върху околната среда включват главно: висока чистота във вакуумното помещение, без прах в помещението за нанасяне на покритие и т.н. В някои райони влажността на въздуха е сравнително висока, така че преди нанасяне на покритие, не само трябва да почистите компонентите в субстрата и вакуумната камера, но също така трябва да извършат работата по печене и дегазиране.Освен това, за да се предотврати навлизането на масло във вакуумната камера, е необходимо също да се обърне внимание на мерките за връщане на маслото и блокиране на маслото на дифузионната помпа за зареждане.
Време на публикуване: 18 февруари 2023 г