Какво представлява покритието на източника на устойчивост на изпарение?

Устойчивото покритие чрез изпаряване е основен метод за нанасяне на покритие чрез вакуумно изпаряване.„Изпаряване“ се отнася до метод за приготвяне на тънък слой, при който покриващият материал във вакуумната камера се нагрява и изпарява, така че атомите или молекулите на материала да се изпарят и да излязат от повърхността, образувайки феномен на поток от пари, падащ върху повърхността на субстрат или субстрат и накрая се кондензира, за да образува твърд филм.

Така нареченият метод за покритие на източника на съпротивление на изпарение е да се използват тантал, молибден, волфрам и други метали с висока точка на топене, за да се направи подходяща форма на източник на изпарение, който се зарежда с материали за изпаряване, пропуска въздуха да тече през него, директно се нагрява и изпарете изпарените материали или поставете материалите за изпаряване в алуминиев оксид, берилиев оксид и други тигели за индиректно нагряване и изпаряване.Това е методът на резистентно нагряване на изпарение.

Theмашина за нанасяне на покритие чрез вакуумно изпаряваненагрят и изпарен от съпротивителен нагревател има предимствата на проста структура, ниска цена и надеждна употреба.Може да се използва за покритие чрез изпаряване на материали с ниска точка на топене, особено за масово производство с ниски изисквания за качество на покритието.Досега все още има голям брой процеси на нанасяне на покритие чрез съпротивително нагряване и изпаряване, използвани в производството на алуминизирани огледала.

Недостатъците на метода за нанасяне на покритие чрез източник на изпарение са, че максималната температура, която може да бъде достигната чрез нагряване, е ограничена и експлоатационният живот на нагревателя също е кратък.През последните години, за да се подобри живота на съпротивителния източник на изпарение, фабриката за оборудване възприе проводимия керамичен материал, синтезиран от борен нитрид с дълъг живот като източник на изпарение.Според доклад за японски патент той може да използва материали, съставени от 20% ~ 30% борен нитрид и огнеупорни материали, които могат да се слеят с него, за да се направи източникът на изпарение (тигел), и да покрие повърхността си със слой от цирконий, съдържащ 62% ~82%, а останалите са материали от циркониево-силиконова сплав.