Какъв е техническият принцип на оборудването за твърдо покритие с кух катод?

Йонно покритие означава, че реагентите или изпарените материали се отлагат върху субстрата чрез йонно бомбардиране на газови йони или изпарени материали, докато изпарените материали се дисоциират или газът се отделя във вакуумна камера.Техническият принцип на оборудването за нанасяне на твърдо покритие с кух катод е йонно покритие с кух катод, което е технология за отлагане чрез разряд на кух катод.

Относно принципа на отлагане с разряд с кух катод: Техниката за отлагане с разряд с кух катод използва разряд с горещ катод за генериране на плазмен лъч, а катодът е куха танталова тръба.Катодът и спомагателният анод са близо един до друг, които са двата полюса, които запалват дъговия разряд.

Пистолетът за отлагане с кух катод се запалва по два начина.
1, Използването на високочестотно електрическо поле, приложено към катодната танталова тръба, така че катодната танталова тръба да йонизира газ аргон в аргонови йони и след това да се задейства от катодната танталова тръба, непрекъснато бомбардирана от аргонови йони, докато топлината се загрее до минимален температурен стандарт на емисия на електрони и генериране на плазмен електронен лъч.

2, В спомагателния анод и катод танталова тръба между прилагането на около 300 V DC напрежение, катодната танталова тръба все още преминава в газа аргон, при налягане на газ аргон 1Pa-10Pa, спомагателният анод и катодната танталова тръба феномен на светещ разряд, генерирането на аргоново йонно бомбардиране постоянно бомбардира катодната танталова тръба, до 2300K-2400K температура, катодната танталова тръба излъчва голям брой електрони, ще бъде променена от „светещ разряд“ на „дъгов разряд“, този път напрежението е като ниско като 30V-60V, след това докато катод и анод между захранването, можете да генерирате плазмен електронен лъч.

Оборудване за катодно покритие
1、Подобрете оригиналната структура на пистолета от оригиналния максимален ток от 230A на 280A.
2、Подобрете структурата на оригиналната система за охлаждане, от оригиналното охлаждане на машината с ледена вода 4℃ до охлаждане с вода при стайна температура, спестявайки разходите за електроенергия за потребителите.
3, Подобрете оригиналната механична трансмисионна структура, променена на магнитна флуидна трансмисионна структура, високата температура няма да задръсти въртящата се рамка.
4, ефективната площ на покритие ￠ 650X1100, може да побере 750 X 1250X600 големи матрици и производители на зъбни колела на изключително дълго протягане, с много голям обем.

Машината за нанасяне на йонно покритие с кух катод се използва главно при покритие на инструменти, форми, големи огледални форми, пластмасови форми, фрезови ножове и други продукти.