Тази серия оборудване използва магнетронни мишени за превръщане на покриващите материали в частици с нанометров размер, които се отлагат върху повърхността на субстратите, за да образуват тънки филми.Навитият филм се поставя във вакуумната камера.Чрез електрически задвижваната структура на навиване единият край получава филма, а другият поставя филма.Той продължава да преминава през целевата зона и приема целевите частици, за да образува плътен филм.
Характеристика:
1. Формиране на филм при ниска температура.Температурата има малък ефект върху филма и няма да доведе до деформация.Подходящ е за рулони от PET, PI и други основни материали.
2. Дебелината на филма може да бъде проектирана.Тънки или дебели покрития могат да бъдат проектирани и нанесени чрез регулиране на процеса.
3. Дизайн на множество целеви локации, гъвкав процес.Цялата машина може да бъде оборудвана с осем мишени, които могат да се използват или като обикновени метални мишени, или като комбинирани и оксидни мишени.Може да се използва за приготвяне на еднослойни филми с единична структура или многослойни филми с композитна структура.Процесът е много гъвкав.
Оборудването може да подготви електромагнитно екраниращо фолио, гъвкаво покритие на печатни платки, различни диелектрични филми, многослойно AR антирефлексно фолио, HR високо антирефлексно фолио, цветно фолио и т.н. оборудването има много широк спектър от приложения и еднослойно отлагане на филм може да се завърши чрез еднократно отлагане на филм.
Оборудването може да използва прости метални цели като Al, Cr, Cu, Fe, Ni, SUS, TiAl и др., или сложни цели като SiO2, Si3N4, Al2O3, SnO2, ZnO, Ta2O5, ITO, AZO и др.
Оборудването е малко по размер, компактно като структурен дизайн, малка подова площ, ниска консумация на енергия и гъвкаво регулиране.Той е много подходящ за изследване и развитие на процеси или масово производство на малки партиди.