সরঞ্জামগুলি উল্লম্ব সামনের দরজার কাঠামো এবং ক্লাস্টার বিন্যাস গ্রহণ করে।এটি ধাতু এবং বিভিন্ন জৈব পদার্থের জন্য বাষ্পীভবনের উত্স দিয়ে সজ্জিত হতে পারে এবং বিভিন্ন নির্দিষ্টকরণের সিলিকন ওয়েফারগুলিকে বাষ্পীভূত করতে পারে।নির্ভুল প্রান্তিককরণ সিস্টেমের সাথে সজ্জিত, আবরণ স্থিতিশীল এবং আবরণের ভাল পুনরাবৃত্তিযোগ্যতা রয়েছে।
GX600 আবরণ সরঞ্জাম সঠিকভাবে, সমানভাবে এবং নিয়ন্ত্রণযোগ্যভাবে জৈব আলো-নিঃসরণকারী উপকরণ বা ধাতব পদার্থগুলিকে সাবস্ট্রেটের উপরে বাষ্পীভূত করতে পারে।এটিতে সহজ ফিল্ম গঠন, উচ্চ বিশুদ্ধতা এবং উচ্চ কম্প্যাক্টনেস সুবিধা রয়েছে।সম্পূর্ণ-স্বয়ংক্রিয় ফিল্ম বেধ রিয়েল-টাইম মনিটরিং সিস্টেম প্রক্রিয়াটির পুনরাবৃত্তিযোগ্যতা এবং স্থায়িত্ব নিশ্চিত করতে পারে।অপারেটরের দক্ষতার উপর নির্ভরতা কমাতে এটি স্ব-গলানোর ফাংশন দিয়ে সজ্জিত।
সরঞ্জামগুলি Cu, Al, Co, Cr, Au, Ag, Ni, Ti এবং অন্যান্য ধাতব উপকরণগুলিতে প্রয়োগ করা যেতে পারে এবং মেটাল ফিল্ম, ডাইলেক্ট্রিক লেয়ার ফিল্ম, আইএমডি ফিল্ম, ইত্যাদি দিয়ে প্রলিপ্ত করা যেতে পারে। এটি প্রধানত সেমিকন্ডাক্টরে ব্যবহৃত হয় শিল্প, যেমন পাওয়ার ডিভাইস, সেমিকন্ডাক্টর রিয়ার প্যাকেজিং সাবস্ট্রেট লেপ ইত্যাদি।
GX600 | GX900 |
φ600*800(মিমি) | φ900*H1050(মিমি) |