পণ্যের বর্ণনা
রাসায়নিক বাষ্প জমার সরঞ্জামগুলির ভ্যাকুয়াম লেপ চেম্বারটি একটি স্বাধীন ডাবল-লেয়ার ওয়াটার-কুলিং কাঠামো গ্রহণ করে, যা শীতল করার ক্ষেত্রে দক্ষ এবং অভিন্ন এবং একটি নিরাপদ এবং স্থিতিশীল কাঠামো রয়েছে।সরঞ্জামটি ডবল দরজা, একাধিক পর্যবেক্ষণ জানালা এবং একাধিক সম্প্রসারণ ইন্টারফেস দিয়ে ডিজাইন করা হয়েছে, যা ইনফ্রারেড তাপমাত্রা পরিমাপ, বর্ণালী বিশ্লেষণ, ভিডিও পর্যবেক্ষণ এবং থার্মোকলের মতো অক্জিলিয়ারী পেরিফেরালগুলির বাহ্যিক সংযোগের জন্য সুবিধাজনক।উন্নত নকশা ধারণা দৈনিক ওভারহল এবং রক্ষণাবেক্ষণ, কনফিগারেশন পরিবর্তন এবং সরঞ্জামের আপগ্রেড সহজ এবং সহজ করে তোলে এবং কার্যকরভাবে ব্যবহার এবং আপগ্রেড খরচ কমিয়ে দেয়।
সরঞ্জাম বৈশিষ্ট্য:
1. সরঞ্জামগুলির স্ফীতি উপাদানগুলির মধ্যে প্রধানত ভর ফ্লো মিটার, সোলেনয়েড ভালভ এবং গ্যাস মিক্সিং ট্যাঙ্ক অন্তর্ভুক্ত রয়েছে, যা প্রক্রিয়া গ্যাস প্রবাহের সঠিক নিয়ন্ত্রণ, অভিন্ন মিশ্রণ এবং বিভিন্ন গ্যাসের নিরাপদ বিচ্ছিন্নতা নিশ্চিত করে এবং ব্যবহারের জন্য গ্যাস সিস্টেমের উপাদান নির্বাচন করতে পারে। তরল গ্যাস উত্স, তরল কার্বন উত্সের বিস্তৃত পরিসরের ব্যক্তিগতকৃত নির্বাচন এবং সিন্থেটিক পরিবাহী হীরা এবং ইলেক্ট্রোড তরল বোরন উত্সগুলির নিরাপদ ব্যবহারের সুবিধা দেয়৷
2. বায়ু নিষ্কাশন সমাবেশ একটি নীরব এবং দক্ষ ঘূর্ণমান ভ্যান ভ্যাকুয়াম পাম্প এবং একটি টার্বো আণবিক পাম্প সিস্টেমের সাথে সজ্জিত যা দ্রুত উচ্চ ভ্যাকুয়াম ব্যাকগ্রাউন্ড পরিবেশ পূরণ করতে পারে।রেজিস্ট্যান্স গেজ এবং আয়নাইজেশন গেজ সহ যৌগিক ভ্যাকুয়াম গেজ ভ্যাকুয়াম পরিমাপের জন্য ব্যবহৃত হয়, সেইসাথে ক্যাপাসিটিভ ফিল্ম গেজ সিস্টেম যা বিস্তৃত পরিসরে বিভিন্ন প্রক্রিয়া গ্যাসের চাপ পরিমাপ করতে পারে।জমা চাপ উচ্চ-নির্ভুল আনুপাতিক নিয়ন্ত্রণ ভালভ দ্বারা সম্পূর্ণ স্বয়ংক্রিয়ভাবে নিয়ন্ত্রিত হয়।
3. শীতল জলের উপাদান মাল্টি-চ্যানেল জলের চাপ, প্রবাহ, তাপমাত্রা পরিমাপ এবং সফ্টওয়্যার স্বয়ংক্রিয় পর্যবেক্ষণের সাথে সজ্জিত।বিভিন্ন শীতল উপাদান একে অপরের থেকে স্বাধীন, যা দ্রুত ত্রুটি নির্ণয়ের জন্য সুবিধাজনক।সমস্ত শাখায় স্বাধীন ভালভ সুইচ রয়েছে, যা নিরাপদ এবং দক্ষ।
4. বৈদ্যুতিক নিয়ন্ত্রণ উপাদানগুলি বড় আকারের ম্যান-মেশিন ইন্টারফেস LCD স্ক্রিন গ্রহণ করে এবং প্রক্রিয়া সূত্রের সম্পাদনা এবং আমদানির সুবিধার্থে PLC পূর্ণ-স্বয়ংক্রিয় নিয়ন্ত্রণের সাথে সহযোগিতা করে।গ্রাফিকাল বক্ররেখা দৃশ্যত বিভিন্ন পরামিতিগুলির পরিবর্তন এবং মানগুলি প্রদর্শন করে এবং সমস্যা ট্রেসিং এবং ডেটা পরিসংখ্যানগত বিশ্লেষণের সুবিধার্থে সরঞ্জাম এবং প্রক্রিয়া পরামিতিগুলি স্বয়ংক্রিয়ভাবে রেকর্ড করা এবং সংরক্ষণাগারভুক্ত করা হয়।
5. ওয়ার্কপিস র্যাকটি সাবস্ট্রেট টেবিলের উত্তোলন এবং কমানো নিয়ন্ত্রণ করতে একটি সার্ভো মোটর দিয়ে সজ্জিত।গ্রাফাইট বা লাল তামা সাবস্ট্রেট টেবিল নির্বাচন করা যেতে পারে.তাপমাত্রা একটি থার্মোকল দ্বারা পরিমাপ করা হয়।
6. র্যাক উপাদানগুলি গ্রাহকদের বিশেষ হ্যান্ডলিং প্রয়োজনীয়তা মেটাতে গ্রাহকের প্রয়োজনীয়তা অনুসারে সম্পূর্ণ বা আলাদাভাবে ডিজাইন করা যেতে পারে।
7. sealing প্লেট উপাদান সুন্দর এবং মার্জিত হয়.সরঞ্জামের বিভিন্ন কার্যকরী মডিউল অঞ্চলে সিলিং প্লেটগুলি দ্রুত বিচ্ছিন্ন বা খোলা এবং স্বাধীনভাবে বন্ধ করা যেতে পারে, যা ব্যবহার করা খুব সুবিধাজনক।
পাতলা ফিল্ম আবরণ, স্ব-সমর্থক পুরু ফিল্ম, মাইক্রোক্রিস্টালাইন এবং ন্যানোক্রিস্টালাইন হীরা, পরিবাহী হীরা, ইত্যাদি সহ হীরার সামগ্রী জমা করার জন্য হট ফিলামেন্ট সিভিডি সরঞ্জামগুলি উপযুক্ত। এটি প্রধানত সিমেন্টেড কার্বাইড কাটার সরঞ্জাম, অর্ধপরিবাহী উপকরণগুলির পরিধান-প্রতিরোধী প্রতিরক্ষামূলক আবরণের জন্য ব্যবহৃত হয়। যেমন সিলিকন এবং সিলিকন কার্বাইড, ডিভাইসের তাপ অপচয় আবরণ, বোরন ডপড পরিবাহী ডায়মন্ড ইলেক্ট্রোড, ইলেক্ট্রোলাইটিক জলের ওজোন নির্বীজন বা পয়ঃনিষ্কাশন প্রক্রিয়া।
| ঐচ্ছিক মডেল | ভিতরের চেম্বারের আকার |
| HFCVD0606 | φ600*H600(মিমি) |
আপেক্ষিক ডিভাইস
দেখুন ক্লিক করুন
অক্সিডেশন প্রতিরোধী CVD আবরণ সরঞ্জাম
সরঞ্জামগুলি প্রধানত অক্সাইড ফিল্ম প্রস্তুত করতে রাসায়নিক বাষ্প জমা গ্রহণ করে, যা দ্রুত জমার হার এবং উচ্চ ফিল্মের গুণমানের বৈশিষ্ট্য রয়েছে।সরঞ্জাম হিসাবে ...