1) নলাকার লক্ষ্যগুলি প্ল্যানার লক্ষ্যগুলির তুলনায় উচ্চতর ব্যবহারের হার রয়েছে।আবরণ প্রক্রিয়ায়, এটি একটি ঘূর্ণমান চৌম্বক প্রকার বা একটি ঘূর্ণমান টিউব টাইপ নলাকার স্পুটারিং টার্গেট, লক্ষ্য টিউবের পৃষ্ঠের সমস্ত অংশ ক্রমাগত ক্যাথোড স্পুটারিং গ্রহণের জন্য স্থায়ী চুম্বকের সামনে উত্পন্ন স্পুটারিং এলাকার মধ্য দিয়ে যায়, এবং লক্ষ্য সমানভাবে sputtered etched হতে পারে, এবং লক্ষ্য ব্যবহার হার উচ্চ.লক্ষ্য উপকরণের ব্যবহারের হার প্রায় 80% ~ 90%।
2) নলাকার লক্ষ্যগুলি "লক্ষ্য বিষক্রিয়া" তৈরি করা সহজ হবে না।আবরণ প্রক্রিয়া চলাকালীন, টার্গেট টিউবের পৃষ্ঠটি সর্বদা আয়ন দ্বারা ছিটকে পড়ে এবং খোদাই করা হয় এবং পৃষ্ঠের উপর পুরু অক্সাইড এবং অন্যান্য অন্তরক ফিল্ম জমা করা সহজ নয় এবং "টার্গেট বিষক্রিয়া" তৈরি করা সহজ নয়।
3) রোটারি টার্গেট টিউব টাইপ নলাকার স্পুটারিং টার্গেটের গঠন সহজ এবং ইনস্টল করা সহজ।
4) নলাকার টার্গেট টিউব উপাদান বিভিন্ন ধরনের আছে.ধাতু লক্ষ্য সরাসরি জল শীতল সঙ্গে planar লক্ষ্য, এবং কিছু প্রক্রিয়া করা যাবে না এবং নলাকার লক্ষ্যবস্তু, যেমন In2-SnO2 টার্গেট, ইত্যাদি তৈরি করা যাবে না। বড়, এবং ভঙ্গুর, তাই ব্রেজিং পদ্ধতি এবং তামার ব্যাকপ্লেটটি একত্রিত করার জন্য এবং তারপর লক্ষ্য বেসে ইনস্টল করা প্রয়োজন।ধাতব পাইপ ছাড়াও, কলামার লক্ষ্যগুলি স্টেইনলেস স্টীল পাইপের পৃষ্ঠে স্প্রে করা যেতে পারে বিভিন্ন উপকরণ যা লেপা প্রয়োজন, যেমন Si, Cr ইত্যাদি।
বর্তমানে, শিল্প উৎপাদনে আবরণের জন্য নলাকার লক্ষ্যমাত্রার অনুপাত বাড়ছে।নলাকার লক্ষ্যগুলি কেবল উল্লম্ব আবরণ মেশিনের জন্যই ব্যবহার করে না তবে রোল থেকে রোল লেপ মেশিনেও ব্যবহার করে।সাম্প্রতিক বছরগুলিতে, প্ল্যানার টুইন টার্গেটগুলি ধীরে ধীরে নলাকার টুইন টার্গেট দ্বারা প্রতিস্থাপিত হয়।
——এই নিবন্ধটি গুয়াংডং জেনহুয়া টেকনোলজি দ্বারা প্রকাশিত হয়েছে, এঅপটিক্যাল আবরণ মেশিন প্রস্তুতকারক.
পোস্টের সময়: মে-11-2023