1. ওয়ার্কপিস পক্ষপাত কম
আয়নকরণের হার বাড়ানোর জন্য একটি ডিভাইস যুক্ত করার কারণে, স্রাবের বর্তমান ঘনত্ব বৃদ্ধি পায় এবং বায়াস ভোল্টেজ 0.5 ~ 1kV এ কমে যায়।
উচ্চ-শক্তি আয়নগুলির অত্যধিক বোমাবর্ষণের ফলে সৃষ্ট ব্যাকস্পুটারিং এবং ওয়ার্কপিস পৃষ্ঠের ক্ষতির প্রভাব হ্রাস পায়।
2. প্লাজমা ঘনত্ব বৃদ্ধি
সংঘর্ষের আয়নকরণকে উন্নীত করার জন্য বিভিন্ন ব্যবস্থা যুক্ত করা হয়েছে, এবং ধাতব আয়নকরণের হার 3% থেকে 15% এর বেশি হয়েছে।আবরণ চেম্বারে চিবুক আয়ন এবং উচ্চ-শক্তি নিরপেক্ষ পরমাণু, নাইট্রোজেন আয়ন, উচ্চ-শক্তি সক্রিয় পরমাণু এবং সক্রিয় গ্রুপগুলির ঘনত্ব বৃদ্ধি পায়, যা যৌগ গঠনের প্রতিক্রিয়ার জন্য সহায়ক।উপরের বিভিন্ন বর্ধিত গ্লো ডিসচার্জ আয়ন আবরণ প্রযুক্তিগুলি উচ্চতর প্লাজমা ঘনত্বে প্রতিক্রিয়া জমার মাধ্যমে TN হার্ড ফিল্ম স্তরগুলি পেতে সক্ষম হয়েছে, কিন্তু যেহেতু তারা গ্লো ডিসচার্জ টাইপের অন্তর্গত, তাই স্রাবের বর্তমান ঘনত্ব যথেষ্ট বেশি নয় (এখনও mA/cm2 স্তর ), এবং সামগ্রিক প্লাজমা ঘনত্ব যথেষ্ট বেশি নয়, এবং প্রতিক্রিয়া জমা যৌগ আবরণ প্রক্রিয়া কঠিন।
3. বিন্দু বাষ্পীভবন উৎসের আবরণ পরিসীমা ছোট
বিভিন্ন উন্নত আয়ন আবরণ প্রযুক্তি ইলেক্ট্রন রশ্মি বাষ্পীভবন উত্স এবং গ্যান্টুকে একটি বিন্দু বাষ্পীভবন উত্স হিসাবে ব্যবহার করে, যা প্রতিক্রিয়া জমার জন্য গান্টুর উপরে একটি নির্দিষ্ট ব্যবধানে সীমাবদ্ধ, তাই উত্পাদনশীলতা কম, প্রক্রিয়াটি কঠিন এবং শিল্পায়ন করা কঠিন।
4. ইলেকট্রনিক বন্দুক উচ্চ চাপ অপারেশন
ইলেক্ট্রন বন্দুকের ভোল্টেজ হল 6~30kV, এবং ওয়ার্কপিস বায়াস ভোল্টেজ হল 0.5~3kV, যা উচ্চ-ভোল্টেজ অপারেশনের অন্তর্গত এবং নির্দিষ্ট নিরাপত্তার ঝুঁকি রয়েছে।
——এই নিবন্ধটি গুয়াংডং জেনহুয়া টেকনোলজি দ্বারা প্রকাশিত হয়েছে, এঅপটিক্যাল আবরণ মেশিন প্রস্তুতকারক.
পোস্টের সময়: মে-12-2023