1. বাষ্পীভবনের হার বাষ্পীভূত আবরণের বৈশিষ্ট্যের উপর প্রভাব ফেলবে
বাষ্পীভবন হার জমা ফিল্ম উপর একটি মহান প্রভাব আছে.যেহেতু কম জমার হার দ্বারা গঠিত আবরণ কাঠামোটি ঢিলেঢালা এবং বৃহৎ কণা জমা করা সহজ, তাই আবরণ কাঠামোর সংক্ষিপ্ততা নিশ্চিত করার জন্য উচ্চতর বাষ্পীভবন হার বেছে নেওয়া খুব নিরাপদ।যখন ভ্যাকুয়াম চেম্বারে অবশিষ্ট গ্যাসের চাপ ধ্রুবক থাকে, তখন সাবস্ট্রেটের বোমাবর্ষণের হার একটি ধ্রুবক মান।অতএব, উচ্চতর জমার হার নির্বাচন করার পরে জমা ফিল্মে থাকা অবশিষ্ট গ্যাস হ্রাস পাবে, এইভাবে অবশিষ্ট গ্যাসের অণু এবং বাষ্পীভূত ফিল্ম কণাগুলির মধ্যে রাসায়নিক বিক্রিয়া হ্রাস পাবে।অতএব, জমা ফিল্মের বিশুদ্ধতা উন্নত করা যেতে পারে।এটি লক্ষ করা উচিত যে যদি জমার হার খুব দ্রুত হয় তবে এটি ফিল্মের অভ্যন্তরীণ চাপ বাড়াতে পারে, এটি ফিল্মের ত্রুটিগুলি বৃদ্ধি করতে পারে এবং এমনকি ফিল্মটি ফেটে যেতে পারে।বিশেষ করে, প্রতিক্রিয়াশীল বাষ্পীভবন কলাইয়ের প্রক্রিয়ায়, প্রতিক্রিয়া গ্যাসকে সম্পূর্ণরূপে বাষ্পীভবন ফিল্ম উপাদানের কণার সাথে বিক্রিয়া করার জন্য, আপনি নিম্ন জমার হার নির্বাচন করতে পারেন।অবশ্যই, বিভিন্ন উপকরণ বিভিন্ন বাষ্পীভবন হার চয়ন।একটি ব্যবহারিক উদাহরণ হিসাবে- প্রতিফলিত ফিল্মের জমা, যদি ফিল্মের পুরুত্ব 600×10-8 সেমি হয় এবং বাষ্পীভবনের সময় 3s হয়, প্রতিফলন 93% হয়।যাইহোক, যদি একই বেধ অবস্থার অধীনে বাষ্পীভবনের হার কমিয়ে দেওয়া হয়, তবে ফিল্ম জমা সম্পূর্ণ হতে 10 মিনিট সময় লাগে।এই সময়ে, ফিল্ম বেধ একই।যাইহোক, প্রতিফলন 68% এ নেমে গেছে।
2. সাবট্রেট তাপমাত্রা বাষ্পীভবন আবরণের উপর প্রভাব ফেলবে
সাবস্ট্রেট তাপমাত্রা বাষ্পীভবন আবরণ উপর একটি মহান প্রভাব আছে.উচ্চ স্তরের তাপমাত্রায় উপস্তর পৃষ্ঠে শোষিত অবশিষ্ট গ্যাস অণুগুলি সরানো সহজ।বিশেষ করে জলীয় বাষ্পের অণু নির্মূল করা আরও গুরুত্বপূর্ণ।অধিকন্তু, উচ্চ তাপমাত্রায়, কেবলমাত্র শারীরিক শোষণ থেকে রাসায়নিক শোষণে রূপান্তর প্রচার করা সহজ নয়, এইভাবে কণার মধ্যে বাঁধাই শক্তি বৃদ্ধি করে।তদুপরি, এটি বাষ্পের অণুগুলির পুনঃক্রিস্টালাইজেশন তাপমাত্রা এবং সাবস্ট্রেট তাপমাত্রার মধ্যে পার্থক্যও কমাতে পারে, এইভাবে ফিল্ম-ভিত্তিক ইন্টারফেসের অভ্যন্তরীণ চাপ হ্রাস বা নির্মূল করতে পারে।উপরন্তু, যেহেতু সাবস্ট্রেটের তাপমাত্রা ফিল্মের স্ফটিক অবস্থার সাথে সম্পর্কিত, তাই নিম্ন স্তরের তাপমাত্রা বা কোন গরম না থাকা অবস্থায় প্রায়শই নিরাকার বা মাইক্রোক্রিস্টালাইন আবরণ তৈরি করা সহজ।বিপরীতে, তাপমাত্রা বেশি হলে স্ফটিক আবরণ তৈরি করা সহজ হয়।স্তরের তাপমাত্রা বৃদ্ধি আবরণের যান্ত্রিক বৈশিষ্ট্যগুলিকে উন্নত করার জন্যও সহায়ক।অবশ্যই, আবরণের বাষ্পীভবন রোধ করার জন্য স্তরের তাপমাত্রা খুব বেশি হওয়া উচিত নয়।
3. ভ্যাকুয়াম চেম্বারে অবশিষ্ট গ্যাসের চাপ ফিল্ম বৈশিষ্ট্যের উপর প্রভাব ফেলবে
ভ্যাকুয়াম চেম্বারে অবশিষ্ট গ্যাসের চাপ ঝিল্লির কর্মক্ষমতার উপর একটি বড় প্রভাব ফেলে।অত্যধিক উচ্চ চাপ সহ অবশিষ্ট গ্যাসের অণুগুলি কেবল বাষ্পীভূত কণাগুলির সাথে সংঘর্ষ করা সহজ নয়, যা স্তরের মানুষের গতিশক্তি হ্রাস করবে এবং ফিল্মের আনুগত্যকে প্রভাবিত করবে।উপরন্তু, অত্যধিক অবশিষ্ট গ্যাসের চাপ ফিল্মের বিশুদ্ধতাকে মারাত্মকভাবে প্রভাবিত করবে এবং আবরণের কর্মক্ষমতা হ্রাস করবে।
4. বাষ্পীভবন আবরণ উপর বাষ্পীভবন তাপমাত্রা প্রভাব
ঝিল্লির কার্যক্ষমতার উপর বাষ্পীভবনের তাপমাত্রার প্রভাব তাপমাত্রার সাথে বাষ্পীভবনের হারের পরিবর্তন দ্বারা দেখানো হয়।বাষ্পীভবনের তাপমাত্রা বেশি হলে বাষ্পীভবনের তাপ কমে যাবে।যদি ঝিল্লি উপাদান বাষ্পীভবন তাপমাত্রার উপরে বাষ্পীভূত হয়, এমনকি তাপমাত্রার সামান্য পরিবর্তনও ঝিল্লি উপাদানের বাষ্পীভবনের হারে তীব্র পরিবর্তন ঘটাতে পারে।অতএব, বাষ্পীভবন উত্স উত্তপ্ত হলে বড় তাপমাত্রা গ্রেডিয়েন্ট এড়াতে ফিল্ম জমা করার সময় বাষ্পীভবন তাপমাত্রা সঠিকভাবে নিয়ন্ত্রণ করা অত্যন্ত গুরুত্বপূর্ণ।যে ফিল্ম উপাদানটি পরমানন্দ করা সহজ, তার জন্য বাষ্পীভবন এবং অন্যান্য ব্যবস্থাগুলির জন্য হিটার হিসাবে উপাদানটি নির্বাচন করাও খুব গুরুত্বপূর্ণ।
5. সাবস্ট্রেট এবং লেপ চেম্বারের পরিচ্ছন্নতা আবরণ কর্মক্ষমতা প্রভাবিত করবে
আবরণের কর্মক্ষমতা উপর স্তর এবং আবরণ চেম্বারের পরিচ্ছন্নতার প্রভাব উপেক্ষা করা যাবে না।এটি শুধুমাত্র জমাকৃত ফিল্মের বিশুদ্ধতাকে গুরুতরভাবে প্রভাবিত করবে না, তবে ফিল্মের আনুগত্যও কমিয়ে দেবে।অতএব, সাবস্ট্রেটের বিশুদ্ধকরণ, ভ্যাকুয়াম আবরণ চেম্বার এবং এর সাথে সম্পর্কিত উপাদানগুলির (যেমন সাবস্ট্রেট ফ্রেম) পরিষ্কার করা এবং পৃষ্ঠের ডিগাসিং সমস্তই ভ্যাকুয়াম আবরণ প্রক্রিয়ার অপরিহার্য প্রক্রিয়া।
পোস্টের সময়: ফেব্রুয়ারি-২৮-২০২৩