হট ওয়্যার আর্ক বর্ধিত প্লাজমা রাসায়নিক বাষ্প জমা প্রযুক্তি হট ওয়্যার আর্ক বন্দুক ব্যবহার করে আর্ক প্লাজমা নির্গত করে, সংক্ষেপে হট ওয়্যার আর্ক পিইসিভিডি প্রযুক্তি।এই প্রযুক্তিটি হট ওয়্যার আর্ক বন্দুক আয়ন আবরণ প্রযুক্তির অনুরূপ, তবে পার্থক্য হল হট ওয়্যার আর্ক গান আয়ন আবরণ দ্বারা প্রাপ্ত কঠিন ফিল্মটি গরম তারের আর্ক বন্দুক দ্বারা নির্গত আর্ক লাইট ইলেকট্রন প্রবাহ ব্যবহার করে ধাতুকে উত্তপ্ত এবং বাষ্পীভূত করতে। ক্রুসিবল, যখন গরম তারের আর্ক লাইট PECVD-কে বিক্রিয়া গ্যাস দেওয়া হয়, যেমন CH4 এবং H2, যা ডায়মন্ড ফিল্ম জমা করার জন্য ব্যবহৃত হয়।গরম তারের আর্ক বন্দুক দ্বারা নির্গত উচ্চ-ঘনত্বের আর্ক ডিসচার্জ কারেন্টের উপর নির্ভর করে, প্রতিক্রিয়াশীল গ্যাস আয়নগুলি গ্যাস আয়ন, পারমাণবিক আয়ন, সক্রিয় গোষ্ঠী ইত্যাদি সহ বিভিন্ন সক্রিয় কণা পেতে উত্তেজিত হয়।
গরম তারের আর্ক PECVD ডিভাইসে, দুটি ইলেক্ট্রোম্যাগনেটিক কয়েল এখনও আবরণ ঘরের বাইরে ইনস্টল করা আছে, যার ফলে উচ্চ-ঘনত্বের ইলেকট্রন প্রবাহ অ্যানোডের দিকে চলাচলের সময় ঘোরে, ইলেক্ট্রন প্রবাহ এবং প্রতিক্রিয়া গ্যাসের মধ্যে সংঘর্ষ এবং আয়নকরণের সম্ভাবনা বাড়িয়ে তোলে। .ইলেক্ট্রোম্যাগনেটিক কয়েলটি পুরো ডিপোজিশন চেম্বারের প্লাজমা ঘনত্ব বাড়ানোর জন্য একটি চাপ কলামে পরিণত হতে পারে।আর্ক প্লাজমাতে, এই সক্রিয় কণাগুলির ঘনত্ব বেশি, যা ওয়ার্কপিসে হীরার ফিল্ম এবং অন্যান্য ফিল্ম স্তরগুলিকে জমা করা সহজ করে তোলে।
——এই নিবন্ধটি গুয়াংডং জেনহুয়া টেকনোলজি দ্বারা প্রকাশিত হয়েছে, এঅপটিক্যাল আবরণ মেশিন প্রস্তুতকারক.
পোস্টের সময়: মে-০৫-২০২৩