1. থার্মাল সিভিডি প্রযুক্তি
শক্ত আবরণগুলি বেশিরভাগই ধাতব সিরামিক আবরণ (TiN, ইত্যাদি), যা আবরণ এবং প্রতিক্রিয়াশীল গ্যাসীকরণে ধাতুর প্রতিক্রিয়া দ্বারা গঠিত হয়।প্রথমে, তাপীয় সিভিডি প্রযুক্তিটি 1000 ℃ উচ্চ তাপমাত্রায় তাপ শক্তি দ্বারা সংমিশ্রণ প্রতিক্রিয়ার সক্রিয়করণ শক্তি সরবরাহ করতে ব্যবহৃত হয়েছিল।এই তাপমাত্রা শুধুমাত্র সিমেন্টেড কার্বাইড টুলে TiN এবং অন্যান্য শক্ত আবরণ জমা করার জন্য উপযুক্ত।এখনও অবধি, সিমেন্টেড কার্বাইড টুলের মাথায় TiN-Al20 যৌগিক আবরণ জমা করা এখনও একটি গুরুত্বপূর্ণ প্রযুক্তি।
2. ফাঁপা ক্যাথোড আয়ন আবরণ এবং গরম তারের আর্ক আয়ন আবরণ
1980-এর দশকে, ফাঁকা ক্যাথোড আয়ন আবরণ এবং গরম তারের আর্ক আয়ন আবরণ প্রলিপ্ত কাটার সরঞ্জামগুলি জমা করতে ব্যবহৃত হয়েছিল।এই উভয় আয়ন আবরণ প্রযুক্তি হল আর্ক ডিসচার্জ আয়ন আবরণ প্রযুক্তি, যার ধাতব আয়নকরণের হার 20%~40% পর্যন্ত।
3. ক্যাথোড আর্ক আয়ন আবরণ
ক্যাথোডিক আর্ক আয়ন আবরণের আবির্ভাব ছাঁচে শক্ত আবরণ জমা করার প্রযুক্তির বিকাশের দিকে পরিচালিত করেছে।ক্যাথোডিক আর্ক আয়ন আবরণের আয়নকরণের হার হল 60%~90%, যা প্রচুর পরিমাণে ধাতব আয়ন এবং বিক্রিয়া গ্যাস আয়নকে ওয়ার্কপিসের পৃষ্ঠে পৌঁছানোর অনুমতি দেয় এবং এখনও উচ্চ কার্যকলাপ বজায় রাখে, যার ফলে প্রতিক্রিয়া জমা হয় এবং শক্ত আবরণ তৈরি হয় যেমন টিআইএনবর্তমানে, ক্যাথোডিক আর্ক আয়ন লেপ প্রযুক্তি প্রধানত ছাঁচে শক্ত আবরণ জমা করতে ব্যবহৃত হয়।
ক্যাথোড আর্ক সোর্স হল একটি স্থির গলিত পুল ছাড়াই একটি কঠিন-রাষ্ট্রীয় বাষ্পীভবন উৎস, এবং আর্ক সোর্স পজিশন নির্বিচারে স্থাপন করা যেতে পারে, যা আবরণ ঘরের স্থান ব্যবহারের হারকে উন্নত করে এবং চুল্লি লোড করার ক্ষমতা বাড়ায়।ক্যাথোড আর্ক উত্সগুলির আকারগুলির মধ্যে রয়েছে ছোট বৃত্তাকার ক্যাথোড আর্ক উত্স, কলামার চাপ উত্স এবং আয়তক্ষেত্রাকার সমতল বৃহৎ চাপ উত্স।মাল্টি-লেয়ার ফিল্ম এবং ন্যানো মাল্টিলেয়ার ফিল্ম জমা করার জন্য ছোট আর্ক সোর্স, কলামার আর্ক সোর্স এবং বড় আর্ক সোর্সের বিভিন্ন উপাদান আলাদাভাবে সাজানো যেতে পারে।এদিকে, ক্যাথোডিক আর্ক আয়ন আবরণের উচ্চ ধাতব আয়নকরণের হারের কারণে, ধাতব আয়নগুলি আরও বিক্রিয়া গ্যাস শোষণ করতে পারে, যার ফলে একটি বিস্তৃত প্রক্রিয়া পরিসীমা এবং চমৎকার শক্ত আবরণ পেতে সহজ অপারেশন।যাইহোক, ক্যাথোডিক আর্ক আয়ন আবরণ দ্বারা প্রাপ্ত আবরণ স্তরের মাইক্রোস্ট্রাকচারে মোটা ফোঁটা রয়েছে।সাম্প্রতিক বছরগুলিতে, ফিল্ম স্তরের কাঠামোকে পরিমার্জিত করার জন্য অনেক নতুন প্রযুক্তি আবির্ভূত হয়েছে, যা আর্ক আয়ন আবরণ ফিল্মের গুণমানকে উন্নত করেছে।
——এই নিবন্ধটি গুয়াংডং জেনহুয়া টেকনোলজি দ্বারা প্রকাশিত হয়েছে, এঅপটিক্যাল আবরণ মেশিন প্রস্তুতকারক.
পোস্টের সময়: এপ্রিল-২৮-২০২৩