প্লাজমা সরাসরি পলিমারাইজেশন প্রক্রিয়া

প্লাজমা সরাসরি পলিমারাইজেশন প্রক্রিয়া

প্লাজমা পলিমারাইজেশন প্রক্রিয়াটি অভ্যন্তরীণ ইলেক্ট্রোড পলিমারাইজেশন সরঞ্জাম এবং বাহ্যিক ইলেক্ট্রোড পলিমারাইজেশন সরঞ্জাম উভয়ের জন্যই তুলনামূলকভাবে সহজ, তবে প্লাজমা পলিমারাইজেশনে প্যারামিটার নির্বাচন আরও গুরুত্বপূর্ণ, কারণ প্লাজমা পলিমারাইজেশনের সময় পলিমার ফিল্মের গঠন এবং কার্যকারিতার উপর প্যারামিটারগুলি বেশি প্রভাব ফেলে।

সরাসরি প্লাজমা পলিমারাইজেশনের জন্য অপারেশন পদক্ষেপগুলি নিম্নরূপ:

(1) ভ্যাকুয়ামিং

ভ্যাকুয়াম অবস্থার অধীনে পলিমারাইজেশনের ব্যাকগ্রাউন্ড ভ্যাকুয়াম 1.3×10-1Pa এ পাম্প করা উচিত।অক্সিজেন বা নাইট্রোজেন সামগ্রী নিয়ন্ত্রণের জন্য বিশেষ প্রয়োজনীয়তাগুলির জন্য পলিমারাইজেশন প্রতিক্রিয়াগুলির জন্য, ব্যাকগ্রাউন্ড ভ্যাকুয়ামের প্রয়োজনীয়তা আরও বেশি।

(2) চার্জ প্রতিক্রিয়া মনোমার বা ক্যারিয়ার গ্যাস এবং মনোমারের মিশ্র গ্যাস

ভ্যাকুয়াম ডিগ্রী হল 13-130Pa।প্লাজমা পলিমারাইজেশনের জন্য কাজের প্রয়োজন, উপযুক্ত প্রবাহ নিয়ন্ত্রণ মোড এবং প্রবাহ হার নির্বাচন করা হবে, সাধারণত 10.100mL/মিনিট।প্লাজমাতে, মনোমার অণুগুলি আয়নিত হয় এবং শক্তিশালী কণার বোমাবর্ষণ দ্বারা বিচ্ছিন্ন হয়, যার ফলে আয়ন এবং সক্রিয় জিনের মতো সক্রিয় কণা হয়।প্লাজমা দ্বারা সক্রিয় সক্রিয় কণাগুলি গ্যাস ফেজ এবং কঠিন পর্যায়ের ইন্টারফেসে প্লাজমা পলিমারাইজেশনের মধ্য দিয়ে যেতে পারে।মনোমার হল প্লাজমা পলিমারাইজেশনের পূর্বসূরীর উৎস, এবং ইনপুট প্রতিক্রিয়া গ্যাস এবং মনোমারের নির্দিষ্ট বিশুদ্ধতা থাকতে হবে।

(3) উত্তেজনা পাওয়ার সাপ্লাই নির্বাচন

পলিমারাইজেশনের জন্য প্লাজমা পরিবেশ প্রদান করতে ডিসি, উচ্চ-ফ্রিকোয়েন্সি, আরএফ, বা মাইক্রোওয়েভ পাওয়ার উত্স ব্যবহার করে প্লাজমা তৈরি করা যেতে পারে।পলিমারের গঠন এবং কর্মক্ষমতা জন্য প্রয়োজনীয়তার উপর ভিত্তি করে পাওয়ার সাপ্লাই নির্বাচন নির্ধারিত হয়।

(4) স্রাব মোড নির্বাচন

পলিমার প্রয়োজনীয়তার জন্য, প্লাজমা পলিমারাইজেশন দুটি স্রাব মোড বেছে নিতে পারে: ক্রমাগত স্রাব বা পালস স্রাব।

(5) স্রাব পরামিতি নির্বাচন

প্লাজমা পলিমারাইজেশন পরিচালনা করার সময়, প্লাজমা প্যারামিটার, পলিমার বৈশিষ্ট্য এবং গঠন প্রয়োজনীয়তা থেকে স্রাব পরামিতি বিবেচনা করা প্রয়োজন।পলিমারাইজেশনের সময় প্রয়োগ করা শক্তির মাত্রা ভ্যাকুয়াম চেম্বারের আয়তন, ইলেক্ট্রোডের আকার, মনোমার প্রবাহ হার এবং গঠন, পলিমারাইজেশন হার এবং পলিমার গঠন এবং কার্যকারিতা দ্বারা নির্ধারিত হয়।উদাহরণস্বরূপ, যদি প্রতিক্রিয়া চেম্বারের আয়তন 1L হয় এবং RF প্লাজমা পলিমারাইজেশন গ্রহণ করা হয়, তাহলে স্রাব শক্তি 10 ~ 30W এর পরিসরে হবে।এই ধরনের পরিস্থিতিতে, উৎপন্ন প্লাজমা ওয়ার্কপিসের পৃষ্ঠে একটি পাতলা ফিল্ম তৈরি করতে একত্রিত হতে পারে।প্লাজমা পলিমারাইজেশন ফিল্মের বৃদ্ধির হার পাওয়ার সাপ্লাই, মনোমারের ধরন এবং প্রবাহের হার এবং প্রক্রিয়া অবস্থার সাথে পরিবর্তিত হয়।সাধারণত, বৃদ্ধির হার হয় 100nm/মিনিট ~ 1um/min.

(6) প্লাজমা পলিমারাইজেশনে প্যারামিটার পরিমাপ

প্লাজমা পলিমারাইজেশনে প্লাজমা প্যারামিটার এবং প্রক্রিয়া প্যারামিটারগুলির মধ্যে রয়েছে: স্রাব ভোল্টেজ, স্রাব কারেন্ট, ডিসচার্জ ফ্রিকোয়েন্সি, ইলেকট্রন তাপমাত্রা, ঘনত্ব, প্রতিক্রিয়া গ্রুপের ধরন এবং ঘনত্ব ইত্যাদি।

——এই নিবন্ধটি গুয়াংডং জেনহুয়া টেকনোলজি দ্বারা প্রকাশিত হয়েছে, এঅপটিক্যাল আবরণ মেশিন প্রস্তুতকারক.