1. বোমাবাজি পরিস্কার সাবস্ট্রেট
1.1) স্পুটারিং লেপ মেশিন সাবস্ট্রেট পরিষ্কার করতে গ্লো ডিসচার্জ ব্যবহার করে।অর্থাৎ, চেম্বারে আর্গন গ্যাস চার্জ করুন, ডিসচার্জ ভোল্টেজ প্রায় 1000V, পাওয়ার সাপ্লাই চালু করার পরে, একটি গ্লো ডিসচার্জ তৈরি হয় এবং আর্গন আয়ন বোমাবাজি দ্বারা সাবস্ট্রেটটি পরিষ্কার করা হয়।
1.2) স্পাটারিং লেপ মেশিনে যেগুলি শিল্পগতভাবে উচ্চ-শেষের অলঙ্কার তৈরি করে, ছোট আর্ক উত্স দ্বারা নির্গত টাইটানিয়াম আয়নগুলি বেশিরভাগ পরিষ্কারের জন্য ব্যবহৃত হয়।স্পুটারিং লেপ মেশিনটি একটি ছোট আর্ক সোর্স দিয়ে সজ্জিত, এবং ছোট আর্ক সোর্স স্রাব দ্বারা উত্পন্ন আর্ক প্লাজমাতে টাইটানিয়াম আয়ন স্ট্রিম বোমাবর্ষণ এবং সাবস্ট্রেট পরিষ্কার করতে ব্যবহৃত হয়।
2. টাইটানিয়াম নাইট্রাইড আবরণ
টাইটানিয়াম নাইট্রাইড পাতলা ছায়াছবি জমা করার সময়, স্পুটারিংয়ের লক্ষ্যবস্তু হল টাইটানিয়াম টার্গেট।লক্ষ্যবস্তু স্পুটারিং পাওয়ার সাপ্লাইয়ের নেতিবাচক ইলেক্ট্রোডের সাথে সংযুক্ত, এবং লক্ষ্য ভোল্টেজ হল 400~500V;আর্গন ফ্লাক্স স্থির, এবং নিয়ন্ত্রণ ভ্যাকুয়াম (3~8) x10-1পিএসাবস্ট্রেটটি 100~200V এর ভোল্টেজ সহ বায়াস পাওয়ার সাপ্লাইয়ের নেতিবাচক ইলেক্ট্রোডের সাথে সংযুক্ত।
স্পুটারিং টাইটানিয়াম টার্গেটের পাওয়ার সাপ্লাই চালু করার পরে, একটি গ্লো ডিসচার্জ তৈরি হয় এবং উচ্চ-শক্তি আর্গন আয়নগুলি স্পুটারিং লক্ষ্যবস্তুতে বোমাবর্ষণ করে, লক্ষ্য থেকে টাইটানিয়াম পরমাণুগুলিকে ছিটকে দেয়।
বিক্রিয়া গ্যাস নাইট্রোজেন প্রবর্তিত হয়, এবং টাইটানিয়াম পরমাণু এবং নাইট্রোজেন আবরণ চেম্বারে টাইটানিয়াম আয়ন এবং নাইট্রোজেন আয়নে আয়নিত হয়।সাবস্ট্রেটে প্রয়োগ করা নেতিবাচক পক্ষপাত বৈদ্যুতিক ক্ষেত্রের আকর্ষণের অধীনে, টাইটানিয়াম আয়ন এবং নাইট্রোজেন আয়ন রাসায়নিক বিক্রিয়া এবং জমার জন্য স্তরের পৃষ্ঠে ত্বরান্বিত হয় এবং একটি টাইটানিয়াম নাইট্রাইড ফিল্ম স্তর তৈরি করে।
3. সাবস্ট্রেট বের করুন
পূর্বনির্ধারিত ফিল্মের বেধে পৌঁছানোর পর, স্পুটারিং পাওয়ার সাপ্লাই, সাবস্ট্রেট বায়াস পাওয়ার সাপ্লাই এবং এয়ার সোর্স বন্ধ করুন।সাবস্ট্রেটের তাপমাত্রা 120 ℃ থেকে কম হওয়ার পরে, আবরণের চেম্বারটি বাতাস দিয়ে পূরণ করুন এবং স্তরটি বের করুন।
এই নিবন্ধটি দ্বারা প্রকাশিত হয়ম্যাগনেট্রন স্পুটারিং লেপ মেশিন প্রস্তুতকারক- গুয়াংডং জেনহুয়া।
পোস্টের সময়: এপ্রিল-০৭-২০২৩