ফাঁপা ক্যাথোড আয়ন আবরণের প্রক্রিয়াটি নিম্নরূপ:
1、চিন ইনগটগুলিকে পতনের মধ্যে রাখুন।
2, ওয়ার্কপিস মাউন্ট করা।
3、5×10-3Pa তে স্থানান্তরিত করার পরে, আর্গন গ্যাস সিলভার টিউব থেকে আবরণ চেম্বারে প্রবেশ করা হয় এবং ভ্যাকুয়াম স্তর প্রায় 100Pa।
4, পক্ষপাত শক্তি চালু করুন।
5、ফাঁপা ক্যাথোড স্রাব জ্বালানোর জন্য আর্ক পাওয়ার চালু করার পর। বোতাম টিউবে গ্লো ডিসচার্জ তৈরি হয়, ডিসচার্জ ভোল্টেজ 800~1000V, আর্ক-উত্থাপন কারেন্ট হল 30~50A। গ্লো এর ফাঁপা ক্যাথোড প্রভাবের কারণে স্রাব,উচ্চ গ্লো ডিসচার্জ কারেন্ট ডেনসিটি,সিলভার টিউবে ইঁদুরের আয়নগুলির উচ্চ ঘনত্ব ভ্যানটেজ টিউবের দেয়ালে বোমাবর্ষণ করে,টিউব প্রাচীরকে দ্রুত ইলেক্ট্রন প্রবাহের নির্গমন পর্যন্ত উষ্ণ করে তোলে, গ্লো ডিসচার্জ থেকে ডিসচার্জ মোড হঠাৎ করে পরিবর্তন করে আর্ক ডিসচার্জ,ভোল্টেজ 40~70V, কারেন্ট হল 80~300A। সিলভার টিউব তাপমাত্রা 2300K এর উপরে পৌঁছেছে, ভাস্বর, টিউব থেকে আর্ক ইলেকট্রনের উচ্চ ঘনত্বের প্রবাহ নির্গত করে এবং অ্যানোডে গুলি করা হয়।
6, ভ্যাকুয়াম স্তরের সামঞ্জস্য। ফাঁপা ক্যাথোড বন্দুক থেকে গ্লো স্রাবের জন্য ভ্যাকুয়াম স্তর প্রায় 100 Pa, এবং আবরণের ভ্যাকুয়াম ডিগ্রী 8×10-1~2Pa। অতএব, আর্ক ডিসচার্জের ইগনিশনের পরে, ইনকামিং আর্গন হ্রাস করুন যত তাড়াতাড়ি সম্ভব গ্যাস, আবরণের জন্য উপযুক্ত একটি পরিসরে ভ্যাকুয়াম স্তর সামঞ্জস্য করুন।
7、টাইটানিয়াম ধাতুপট্টাবৃত বেস লেয়ার। অ্যানোডিক্যালি ধসে পড়া চিন মেটাল ইনগটের উপর ইলেক্ট্রন প্রবাহ, গতিশক্তির তাপ শক্তিতে রূপান্তর, গরম করার মাধ্যমে চিন ধাতুর বাষ্পীভবন, বাষ্প পরমাণু একটি টাইটানিয়াম ফিল্ম তৈরি করতে ওয়ার্কপিসে পৌঁছায়।
8、TiN এর জমা। নাইট্রোজেন গ্যাস আবরণ চেম্বারে সরবরাহ করা হয়, নাইট্রোজেন গ্যাস এবং বাষ্পীভূত পরমাণুগুলি নাইট্রোজেন এবং টাইটানিয়াম আয়নে আয়নিত হয়। ক্রুসিবলের উপরে, টাইটানিয়াম বাষ্পের পরমাণুর নিরবচ্ছিন্ন সংঘর্ষের উচ্চ সম্ভাবনা, ইলেক্ট্রোজেন-এর সাথে কম স্ট্রিমেনস। ধাতু বিচ্ছিন্নতার হার 20%~40% পর্যন্ত।, টাইটানিয়াম আয়নগুলির বিক্রিয়া গ্যাস নাইট্রোজেনের সাথে রাসায়নিকভাবে বিক্রিয়া করার সম্ভাবনা বেশি, নাইট্রাইড ম্যান্টেল ফিল্ম স্তর প্রাপ্ত করার জন্য ডিপোজিশন। ফাঁপা ক্যাথোড বন্দুক উভয়ই একটি বাষ্পীভবন উত্স，অন্য উত্স আয়নকরণের। আবরণের সময়, ক্রুসিবলের চারপাশে ইলেক্ট্রোম্যাগনেটিক কয়েলের কারেন্টও সামঞ্জস্য করা উচিত, ইলেকট্রন বিমকে পতনের কেন্দ্রে ফোকাস করুন, এইভাবে, ইলেক্ট্রন প্রবাহের শক্তি ঘনত্ব বৃদ্ধি পায়।
9、পাওয়ার বন্ধ। ফিল্ম বেধ পূর্বনির্ধারিত ফিল্ম বেধে পৌঁছানোর পর, আর্ক পাওয়ার সাপ্লাই বন্ধ করুন、বায়াস পাওয়ার সাপ্লাই এবং এয়ার সাপ্লাই।
পোস্টের সময়: জুলাই-০৮-২০২৩