দ্যভ্যাকুয়াম আবরণমেশিন প্রক্রিয়া বিভক্ত করা হয়: ভ্যাকুয়াম বাষ্পীভবন আবরণ, ভ্যাকুয়াম স্পুটারিং আবরণ এবং ভ্যাকুয়াম আয়ন আবরণ।
1, ভ্যাকুয়াম বাষ্পীভবন আবরণ
ভ্যাকুয়াম অবস্থার অধীনে, উপাদানগুলিকে বাষ্পীভূত করুন，যেমন ধাতু, ধাতু খাদ, ইত্যাদি তারপরে সেগুলিকে সাবস্ট্রেট পৃষ্ঠে জমা করুন, বাষ্পীভবন আবরণ পদ্ধতিটি প্রায়শই প্রতিরোধের হিটিং ব্যবহার করে এবং তারপরে আবরণ উপাদানের ইলেক্ট্রন বিম বোমাবাজি করে, তাদের তৈরি করে গ্যাস পর্যায়ে বাষ্পীভূত হয়, তারপর সাবস্ট্রেট পৃষ্ঠে জমা হয়, ঐতিহাসিকভাবে, ভ্যাকুয়াম বাষ্প জমা করা পিভিডি পদ্ধতিতে ব্যবহৃত পূর্ববর্তী প্রযুক্তি।
2, স্পুটারিং আবরণ
গ্যাসটি (Ar)-পূর্ণ ভ্যাকুয়াম অবস্থার অধীনে একটি গ্লো ডিসচার্জের শিকার হয়, এই মুহূর্তে আর্গন (Ar) পরমাণুগুলি নাইট্রোজেন আয়নে (Ar), আয়নগুলি বৈদ্যুতিক ক্ষেত্রের বল দ্বারা ত্বরান্বিত হয় এবং ক্যাথোড লক্ষ্যবস্তুতে বোমাবর্ষণ করে আবরণ উপাদান দিয়ে তৈরি, লক্ষ্যবস্তু ছিটকে পড়বে এবং সাবস্ট্রেট পৃষ্ঠে জমা হবে স্পুটার আবরণে ইনসিডেন্ট আয়নগুলি, সাধারণত গ্লো ডিসচার্জ দ্বারা প্রাপ্ত হয়, 10-2pa থেকে 10Pa এর মধ্যে থাকে，তাই ছিটকে যাওয়া কণাগুলি সংঘর্ষে সহজ হয় ভ্যাকুয়াম চেম্বারে গ্যাসের অণুগুলির সাথে যখন সাবস্ট্রেটের দিকে উড়ে যায়, গতির দিককে এলোমেলো করে তোলে এবং জমা হওয়া ফিল্মটি অভিন্ন হওয়া সহজ।
3, আয়ন আবরণ
ভ্যাকুয়াম অবস্থার অধীনে, ভ্যাকুয়াম অবস্থার অধীনে, আবরণ উপাদানের পরমাণুগুলিকে আয়নগুলিতে আংশিকভাবে আয়ন করার জন্য একটি নির্দিষ্ট প্লাজমা আয়নকরণ কৌশল ব্যবহার করা হয়৷ একই সময়ে অনেকগুলি উচ্চ শক্তির নিরপেক্ষ পরমাণু উত্পাদিত হয় ， যেগুলি সাবস্ট্রেটের উপর নেতিবাচকভাবে পক্ষপাতিত্ব করে৷ এইভাবে, আয়নগুলি একটি পাতলা ফিল্ম গঠন করার জন্য একটি গভীর নেতিবাচক পক্ষপাতের অধীনে সাবস্ট্রেট পৃষ্ঠে জমা হয়।
পোস্টের সময়: মার্চ-23-2023