আয়ন আবরণমেশিন 1960-এর দশকে ডিএম ম্যাটক্সের প্রস্তাবিত তত্ত্ব থেকে উদ্ভূত হয়েছিল এবং সেই সময়ে সংশ্লিষ্ট পরীক্ষাগুলি শুরু হয়েছিল;1971 সাল পর্যন্ত, চেম্বার্স এবং অন্যান্যরা ইলেক্ট্রন বিম আয়ন কলাইয়ের প্রযুক্তি প্রকাশ করেছিল;1972 সালে বুনশাহ রিপোর্টে প্রতিক্রিয়াশীল ইভাপোরেশন প্লেটিং (এআরই) প্রযুক্তি নির্দেশ করা হয়েছিল, যখন টিআইসি এবং টিআইএন-এর মতো সুপার-হার্ড ফিল্ম তৈরি করা হয়েছিল;এছাড়াও 1972 সালে, স্মিথ এবং মলি আবরণ প্রক্রিয়ায় ফাঁপা ক্যাথোড প্রযুক্তি গ্রহণ করেছিলেন।1980-এর দশকের মধ্যে, চীনে আয়ন প্রলেপ শেষ পর্যন্ত শিল্প প্রয়োগের স্তরে পৌঁছেছিল, এবং আবরণ প্রক্রিয়া যেমন ভ্যাকুয়াম মাল্টি-আর্ক আয়ন প্লেটিং এবং আর্ক-ডিসচার্জ আয়ন প্রলেপ ধারাবাহিকভাবে উপস্থিত হয়েছিল।
ভ্যাকুয়াম আয়ন কলাইয়ের পুরো কাজের প্রক্রিয়াটি নিম্নরূপ: প্রথম,পাম্পভ্যাকুয়াম চেম্বার, এবং তারপরঅপেক্ষা করুনভ্যাকুয়াম চাপ 4X10 ⁻ ³ Paবা ভাল, উচ্চ ভোল্টেজ পাওয়ার সাপ্লাই সংযোগ করা এবং সাবস্ট্রেট এবং ইভাপোরেটরের মধ্যে কম ভোল্টেজ ডিসচার্জ গ্যাসের একটি নিম্ন তাপমাত্রার প্লাজমা এলাকা তৈরি করা প্রয়োজন।ক্যাথোডের একটি গ্লো ডিসচার্জ তৈরি করতে 5000V DC নেতিবাচক উচ্চ ভোল্টেজের সাথে সাবস্ট্রেট ইলেক্ট্রোডকে সংযুক্ত করুন।নিষ্ক্রিয় গ্যাস আয়ন নেতিবাচক আভা এলাকার কাছাকাছি উত্পন্ন হয়.তারা ক্যাথোড অন্ধকার এলাকায় প্রবেশ করে এবং বৈদ্যুতিক ক্ষেত্রের দ্বারা ত্বরান্বিত হয় এবং সাবস্ট্রেটের পৃষ্ঠে বোমাবর্ষণ করে।এটি একটি পরিষ্কার প্রক্রিয়া, এবং তারপর আবরণ প্রক্রিয়া প্রবেশ করুন.বোমাবাজি গরম করার প্রভাবের মাধ্যমে, কিছু কলাই উপাদান বাষ্পীভূত হয়।প্লাজমা ক্ষেত্রটি প্রোটনে প্রবেশ করে, ইলেকট্রন এবং নিষ্ক্রিয় গ্যাস আয়নের সাথে সংঘর্ষ হয় এবং তাদের একটি ছোট অংশ আয়নিত হয়, উচ্চ শক্তি সহ এই আয়নযুক্ত আয়নগুলি ফিল্ম পৃষ্ঠে বোমাবর্ষণ করবে এবং কিছু পরিমাণে ফিল্মের গুণমানকে উন্নত করবে।
ভ্যাকুয়াম আয়ন কলাইয়ের নীতি হল: ভ্যাকুয়াম চেম্বারে, গ্যাস নিঃসরণের ঘটনা বা বাষ্পীভূত উপাদানের আয়নিত অংশ ব্যবহার করে, বাষ্পীভূত উপাদান আয়ন বা গ্যাস আয়নগুলির বোমাবর্ষণের অধীনে, একই সাথে এই বাষ্পীভূত পদার্থগুলি বা তাদের বিক্রিয়াকগুলিকে জমা করে। একটি পাতলা ফিল্ম পেতে.আয়ন আবরণমেশিনভ্যাকুয়াম বাষ্পীভবন, প্লাজমা প্রযুক্তি এবং গ্যাস গ্লো ডিসচার্জকে একত্রিত করে, যা শুধুমাত্র ফিল্মের গুণমানকে উন্নত করে না, ফিল্মের প্রয়োগের পরিসরকেও প্রসারিত করে।এই প্রক্রিয়ার সুবিধাগুলি হল শক্তিশালী বিচ্ছুরণ, ভাল ফিল্ম আনুগত্য এবং বিভিন্ন আবরণ সামগ্রী।আয়ন প্রলেপের নীতিটি প্রথমে ডিএম ম্যাটক্স দ্বারা প্রস্তাবিত হয়েছিল।আয়ন প্রলেপ অনেক ধরনের আছে.সবচেয়ে সাধারণ ধরনের বাষ্পীভবন গরম করা হয়, যার মধ্যে রয়েছে রেজিস্ট্যান্স হিটিং, ইলেক্ট্রন বিম হিটিং, প্লাজমা ইলেক্ট্রন বিম হিটিং, হাই-ফ্রিকোয়েন্সি ইন্ডাকশন হিটিং এবং অন্যান্য হিটিং পদ্ধতি।
পোস্টের সময়: ফেব্রুয়ারি-14-2023