Oprema usvaja tehnologiju isparavanja elektronskih zraka.Elektroni se emituju iz filamenta katode i fokusiraju u određenu struju snopa, koja se ubrzava potencijalom između katode i lončića da se rastopi i ispari materijal za oblaganje.Ima karakteristike visoke gustine energije i može ispariti materijal premaza s tačkom topljenja većom od 3000 ℃.Film ima visoku čistoću i visoku termičku efikasnost.
Oprema je opremljena izvorom isparavanja elektronskog snopa, izvorom jona, sistemom za praćenje debljine filma, strukturom korekcije debljine filma i stabilnim sistemom rotacije obradaka kišobrana.Kroz premaz uz pomoć ionskog izvora povećava se kompaktnost filma, stabilizira indeks loma i izbjegava se pojava pomaka valne dužine zbog vlage.Potpuno automatski sistem za praćenje debljine filma u realnom vremenu može osigurati ponovljivost i stabilnost procesa.Opremljen je funkcijom samotaljenja kako bi se smanjila ovisnost o vještinama operatera.
Oprema je primjenjiva na različite okside i materijale za premazivanje metala, a može se premazati višeslojnim preciznim optičkim filmovima, kao što su AR film, dugovalni prolaz, kratkovalni prolaz, film za posvjetljivanje, AS / AF film, IRCUT, sistem filma u boji , gradijent filmski sistem, itd. Široko se koristi u AR naočalama, optičkim sočivima, kamerama, optičkim sočivima, filterima, poluprovodničkoj industriji itd.