HFCVD0606

Vakumska komora za oblaganje opreme za hemijsko taloženje pare usvaja nezavisnu dvoslojnu strukturu vodenog hlađenja, koja je efikasna i ujednačena u hlađenju, i ima sigurnu i stabilnu strukturu.Oprema je dizajnirana sa dvostrukim vratima, višestrukim prozorima za posmatranje i višestrukim interfejsima za proširenje, što je pogodno za eksterno povezivanje pomoćnih perifernih uređaja kao što su infracrveno merenje temperature, spektralna analiza, video nadzor i termopar.Napredni koncept dizajna čini svakodnevni remont i održavanje, promjenu konfiguracije i nadogradnju opreme lakim i jednostavnim, te efektivno smanjuje troškove korištenja i nadogradnje.

Karakteristike opreme:

1. Komponente opreme za napuhavanje uglavnom uključuju mjerač masenog protoka, elektromagnetni ventil i spremnik za miješanje plina, koji osiguravaju preciznu kontrolu protoka procesnog plina, ujednačeno miješanje i sigurnu izolaciju različitih plinova i mogu odabrati komponente plinskog sistema za korištenje izvor tekućeg plina, olakšava personalizirani odabir širokog spektra izvora tekućeg ugljika i bezbednu upotrebu sintetičkih provodljivih izvora dijamanata i elektroda tečnog bora.
2. Sklop za usisavanje vazduha opremljen je tihom i efikasnom vakuum pumpom sa rotacionim lopaticama i sistemom turbo molekularne pumpe koji može brzo da zadovolji pozadinsko okruženje visokog vakuuma.Za mjerenje vakuuma koristi se kompozitni vakuum mjerač sa mjeračem otpora i ionizacijskim mjeračem, kao i kapacitivni filmski mjerni sistem koji može mjeriti tlak različitih procesnih plinova u širokom rasponu.Pritisak taloženja je potpuno automatski kontrolisan proporcionalnim ventilom visoke preciznosti.
3. Komponenta rashladne vode opremljena je višekanalnim pritiskom vode, protokom, mjerenjem temperature i softverskim automatskim nadzorom.Različite komponente za hlađenje su nezavisne jedna od druge, što je pogodno za brzu dijagnozu kvara.Sve grane imaju nezavisne prekidače ventila, što je sigurno i efikasno.
4. Električne kontrolne komponente usvajaju LCD ekran sa interfejsom čovek-mašina velike veličine i sarađuju sa potpuno automatskom kontrolom PLC-a kako bi se olakšalo uređivanje i uvoz formule procesa.Grafička kriva vizualno prikazuje promjene i vrijednosti različitih parametara, a parametri opreme i procesa se automatski snimaju i arhiviraju kako bi se olakšalo praćenje problema i statistička analiza podataka.
5. Stalak za obradak je opremljen servo motorom za kontrolu podizanja i spuštanja stola za podlogu.Može se odabrati stol za podlogu od grafita ili crvenog bakra.Temperatura se mjeri termoelementom.
6. Komponente stalka mogu se dizajnirati kao cjelina ili odvojeno prema zahtjevima kupaca kako bi se zadovoljili posebni zahtjevi kupaca.
7. Komponente zaptivne ploče su lijepe i elegantne.Zaptivne ploče u različitim funkcionalnim modulima opreme mogu se brzo rastaviti ili otvoriti i zatvoriti nezavisno, što je vrlo zgodno za upotrebu.

CVD oprema s vrućim filamentom je pogodna za nanošenje dijamantskih materijala, uključujući tankoslojni premaz, samonosivi debeli film, mikrokristalni i nanokristalni dijamant, provodni dijamant itd. kao što su silicijum i silicijum karbid, prevlaka uređaja za disipaciju toplote, provodljiva dijamantska elektroda dopirana borom, dezinfekcija elektrolitičke vode ili kanalizacije ozonom.