Oprema integrira magnetronsko raspršivanje i tehnologiju otpornog isparavanja, te pruža rješenje za premazivanje raznih različitih podloga.
Eksperimentalna oprema za premazivanje uglavnom se koristi na univerzitetima i naučnoistraživačkim ustanovama i može zadovoljiti različite eksperimentalne zahtjeve.Za opremu su rezervisani različiti strukturni ciljevi, koji se mogu fleksibilno konfigurisati da bi zadovoljili naučna istraživanja i razvoj u različitim oblastima.Mogu se odabrati sistem za raspršivanje magnetrona, sistem katodnog luka, sistem za isparavanje elektronskih zraka, sistem za isparavanje otpora, CVD, PECVD, jonski izvor, sistem bias, sistem grejanja, trodimenzionalni uređaj, itd.Kupci mogu odabrati prema svojim različitim potrebama.
Oprema ima karakteristike lijepog izgleda, kompaktne strukture, male površine, visokog stepena automatizacije, jednostavnog i fleksibilnog rada, stabilnih performansi i lakog održavanja.
Oprema se može primijeniti na plastiku, nehrđajući čelik, galvanizirani hardver / plastične dijelove, staklo, keramiku i druge materijale.Mogu se pripremiti jednostavni metalni slojevi poput titanijuma, hroma, srebra, bakra, aluminijuma ili jedinjenja metala kao što su TiN / TiCN / TiC / TiO2 / TiAlN / CrN / ZrN / CrC.
ZCL0506 | ZCL0608 | ZCL0810 |
φ500*H600(mm) | φ600*H800(mm) | φ800*H1000 (mm) |